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深硅刻蝕機-變更公告
發(fā)布時間： 2024-11-25
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變更公告詳情

項目名稱：深硅刻蝕機 招標人：*** 招標編號***告1.3設備技術要求7)“硅-玻璃鍵合片靜電吸附良好，氨氣壓力10Torr時，氨氣流量≤5sccm” 變更為：“硅-玻璃鍵合片靜電吸附良好，氦氣壓力10Torr時，氦氣流量≤5sccm”。 本項目第八章貨物需求一覽表及技術規(guī)格二、主要技術參數(shù)：*7) “硅-玻璃鍵合片靜電吸附良好，氨氣壓力10Torr時，氨氣流量≤5sccm” 變更為：*7) “硅-玻璃鍵合片靜電吸附良好，氦氣壓力10Torr時，氦氣流量≤5sccm”。 特此公告 中科信工程咨詢（北京）*** ******月***日 ******

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