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【山東,】山東大學2022年10至12月政府采購意向-p型碳化硅外延生長反應爐詳細情況
標簽： 采購公告山東山東大學2022年10至12月政府采購意向-p型碳化硅外延生長反應爐詳細情況山東大學招標信息招標采購
發(fā)布時間 2022-10-07 截止日期 立即查看
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招投標詳情

p型碳化硅外延生長反應爐
項目所在采購意向：******10至***月政府采購意向
采購單位：***
采購項目名稱：p型碳化硅外延生長反應爐
預算金額***>******元(人民幣)
采購品目：
電子工業(yè)專用生產(chǎn)設(shè)備
采購需求概況 ：
高質(zhì)量SiC薄膜材料的生長是鏈接單晶襯底材料與器件的重要環(huán)節(jié)，是產(chǎn)業(yè)鏈的前端，也是占據(jù)器件成本50%的核心材料。建立SiC襯底缺陷與器件性能的對應關(guān)系，對于SiC單晶襯底生長提出新要求，迅速反饋給單晶生長研究者，促進SiC單晶襯底質(zhì)量的提升,滿足任務需求。
預計采購時間：2022-10
備注：

本次公開的采購意向是本單位***，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。

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