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【全國,】華南理工大學2023年2月政府采購意向-原子層沉積系統(tǒng)詳細情況
發(fā)布時間:2023-02-07
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招投標詳情

原子層沉積系統(tǒng)
項目所在采購意向:*********月政府采購意向
采購單位:***
采購項目名稱:原子層沉積系統(tǒng)
預算金額***>***.00***元(人民幣)
采購品目:
A03***3電子工業(yè)專用生產(chǎn)設備
采購需求概況 :
采購單位:***物理與光電學院 項目名稱:原子層沉積鍍膜系統(tǒng) 申購數(shù)量:1臺 預算金額***el="nofollow" style="color: #f67b14">******元人民幣 采購項目情況: 1、主要功能和目標 原子層沉積鍍膜系統(tǒng)是先進、高精度的鍍膜設備,在寬禁帶半導體相關的功率、射頻和太赫茲等領域,在探索介質薄膜工藝、提高薄膜質量和提升器件性能等方面都發(fā)揮著重要作用。此設備可以很好地滿足科研項目的需求,進一步提高學院在基礎材料性能的研究水平,具有科研必要性。 2、采購服務 (1)安裝、調試和接收 賣方應在買方所在地提供儀器的安裝、校驗和試運轉,其全部要求應符合技術條款要求,并提供用戶硬件測試報告及工藝驗收報告詳細數(shù)據(jù)。 (2)售后支持 制造商在國內設有常用零部件備品倉庫,滿足客戶及時服務需求;往后對于新的材料,廠家可以提供免費工藝制程的支持服務,并分享相關工藝數(shù)據(jù)庫信息。 (3)技術培訓 在用戶現(xiàn)場對用戶進行至少3天的免費培訓。培訓內容包括設備的技術原理、操作、數(shù)據(jù)處理、基本維護等。 (4)保修期 提供1年免費保修,保修期自驗收簽字之日起計算。在保修期內,所有非人為因素引起的故障及非消耗品損耗,廠家都給與免費維修。 (5)維修響應時間 賣方應在24小時內對用戶的服務要求做出響應,如電話溝通不能解決,維修人員應在5個工作日內到達用戶現(xiàn)場解決,重大問題或其它無法迅速解決的問題應在一周內解決或提出明確解決方案。 3、采購驗收指標 工藝驗收指標 Al2O3:TMAH2O 厚度均勻性:熱法<1%, (500循環(huán), 8inch Si襯底片), Stdev/Average x 100%,49 點測量,排除邊沿5 mm);
預計采購時間:2023-02
備注:

本次公開的采購意向是本單位***,具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。

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