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【廣東,深圳市】深圳國際量子研究院通用刻蝕機(jī)采購項(xiàng)目意向公開

發(fā)布時(shí)間：2023-02-16

招投標(biāo)詳情

采購單位:	***
項(xiàng)目名稱:	通用刻蝕機(jī)采購項(xiàng)目
預(yù)算金額***/td>	12,500,000.000
采購品目:	其他機(jī)械設(shè)備
采購需求概況:	擬采購的通用刻蝕機(jī)將主要用于刻蝕氧化硅、氮化硅、硅、鈮酸鋰、碳化硅、六方氮化硼、鋁鎵砷、鋁、鉻等多種材料，以滿足不同種類光量子芯片對(duì)高精度刻蝕工藝的需求。要求該設(shè)備適用于不同材料6寸/8寸晶圓尺寸樣品的低損傷刻蝕，能夠在很寬的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行工藝，可提供具有高度均勻、高產(chǎn)量和高精度的工藝。該設(shè)備將服務(wù)于超低損耗氮化硅光子集成芯片和其它光量子集成芯片的工藝開發(fā)和樣品制備。
預(yù)計(jì)采購時(shí)間:	2023-3
聯(lián)系人:	李老師
聯(lián)系電話:	***
備注:	無

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