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技術規(guī)格及參數(shù)

1、電源電壓：220V 50Hz2、總功率：＜2.5KW3、腔體內(nèi)徑：φ300mm4、極限真空度：< E-6mbar5、工作溫度：RT-500℃，精度±1℃6、靶槍數(shù)量：3個7、靶槍冷卻方式：水冷8、靶材尺寸：φ2″，厚度0.1mm-5mm9、直流濺射功率：500W10、射頻濺射功率：300W11、載樣臺：φ140mm12、載樣臺轉速：1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)

質(zhì)保期

質(zhì)保1年

售后要求

維修響應時間：提供設備報修電話及聯(lián)系人，招標人報修后，【2】小時內(nèi)響應，【12】小時內(nèi)派員上門現(xiàn)場維護，并在【24】小時內(nèi)解決問題，如在規(guī)定時間內(nèi)不能解決設備故障，應提供相同檔次、功能的設備給招標人代用。

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技術規(guī)格及參數(shù)

1、抽速（m3/h）：0.52、極限分壓強（hPa）:≤4.5 3、轉速(r/min)：1500 4、電源功率（Kw）0.11 5、抽氣口連接：G1/8 6、工作環(huán)境溫度（℃）12-40 7、噪音（dB）≤52

質(zhì)保期

質(zhì)保1年

售后要求

維修響應時間：提供設備報修電話及聯(lián)系人，招標人報修后，【2】小時內(nèi)響應，【12】小時內(nèi)派員上門現(xiàn)場維護，并在【25】小時內(nèi)解決問題，如在規(guī)定時間內(nèi)不能解決設備故障，應提供相同檔次、功能的設備給招標人代用。

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型號

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技術規(guī)格及參數(shù)

1、供電電源： AC220V+10% 2、輸出電源： DC5V 3A3、顯示器： 12 x 2數(shù)碼管+LED4、通訊端口： RS－485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可選擇；數(shù)據(jù)位：8位；停止位：1位；奇偶校驗：無）

質(zhì)保期

質(zhì)保1年

售后要求

維修響應時間：提供設備報修電話及聯(lián)系人，招標人報修后，【2】小時內(nèi)響應，【12】小時內(nèi)派員上門現(xiàn)場維護，并在【26】小時內(nèi)解決問題，如在規(guī)定時間內(nèi)不能解決設備故障，應提供相同檔次、功能的設備給招標人代用。

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技術規(guī)格及參數(shù)

6MHz

質(zhì)保期

無

售后要求

無

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技術規(guī)格及參數(shù)

1. 電源最大輸出功率值：500 W。2. 直流源工作電壓： 0 V ～ 800 V。3. 最大工作電流： 0.75 A。4. 直流輸出功率：0 W～500 W 連續(xù)可調(diào)。5. 電源可支持恒流、恒壓、恒功率三種模式。6. 直流電源工作壓力范圍：0 Pa～100 Pa。7. 連續(xù)工作時間：24 h。8. 數(shù)據(jù)顯示方式：105 mm × 40 mm 液晶屏顯示。9. 功率設置顯示：可以實現(xiàn)功率的預先設置，然后一鍵啟動，啟動過程中開始緩慢加功率之后達到設置的功率值，實際功率不會過沖而且穩(wěn)定。顯示屏上正確顯示輸出功率以及輸出功率的電壓值和電流值。10. 電源工作時間設置：本電源支持加功率時間的設置，設定時間到后，電源自動停止工作。

質(zhì)保期

質(zhì)保1年

售后要求

維修響應時間：提供設備報修電話及聯(lián)系人，招標人報修后，【2】小時內(nèi)響應，【12】小時內(nèi)派員上門現(xiàn)場維護，并在【24】小時內(nèi)解決問題，如在規(guī)定時間內(nèi)不能解決設備故障，應提供相同檔次、功能的設備給招標人代用。

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技術規(guī)格及參數(shù)

1、輸出功率： 0-300W2、功率穩(wěn)定度 ：≤±0.5%3、輸出頻率 ：13.56MHz4、頻率信號 ：標準正玄波5、輸入電壓 ：AC180-250V6、輸入電流： 3A7、輸出阻抗 ：50Ω 8、承受駐波比： >3.09、冷卻方式 ：風冷10、通訊口 ：RS232 RS48511、標準 ：Modebus12、模擬控制接口 ：DB1513、輸出接口 ：N/UHF14、尺寸： 444(寬)×410(深)×128(高)15、匹配器控制 ：有

質(zhì)保期

質(zhì)保1年

售后要求

維修響應時間：提供設備報修電話及聯(lián)系人，招標人報修后，【2】小時內(nèi)響應，【12】小時內(nèi)派員上門現(xiàn)場維護，并在【25】小時內(nèi)解決問題，如在規(guī)定時間內(nèi)不能解決設備故障，應提供相同檔次、功能的設備給招標人代用。

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型號

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技術規(guī)格及參數(shù)

1、供電電源： AC220V+10% 2、輸出電源： DC5V 3A3、顯示器： 12 x 2數(shù)碼管+LED4、通訊端口： RS－485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可選擇；數(shù)據(jù)位：8位；停止位：1位；奇偶校驗：無）

質(zhì)保期

質(zhì)保1年

售后要求

維修響應時間：提供設備報修電話及聯(lián)系人，招標人報修后，【2】小時內(nèi)響應，【12】小時內(nèi)派員上門現(xiàn)場維護，并在【26】小時內(nèi)解決問題，如在規(guī)定時間內(nèi)不能解決設備故障，應提供相同檔次、功能的設備給招標人代用。

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技術規(guī)格及參數(shù)

1、工作電壓：AC 208V-240V 50Hz/60Hz2、工作電流：3.5A-5.6A3、水箱容積：6L4、水流速率：16L/min5、出入水口：外徑φ10mm銅咀6、制冷量：722Kcal/h（2866Btu/h）

質(zhì)保期

質(zhì)保1年

售后要求

維修響應時間：提供設備報修電話及聯(lián)系人，招標人報修后，【2】小時內(nèi)響應，【12】小時內(nèi)派員上門現(xiàn)場維護，并在【27】小時內(nèi)解決問題，如在規(guī)定時間內(nèi)不能解決設備故障，應提供相同檔次、功能的設備給招標人代用。

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型號

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技術規(guī)格及參數(shù)

φ 8變徑到φ6

質(zhì)保期

無

售后要求

無

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技術規(guī)格及參數(shù)

φ10變徑到φ6

質(zhì)保期

無

售后要求

無

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技術規(guī)格及參數(shù)

φ6 不銹鋼卡圈卡環(huán)一套

質(zhì)保期

無

售后要求

無

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技術規(guī)格及參數(shù)

2.5 L型

質(zhì)保期

無

售后要求

無

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技術規(guī)格及參數(shù)

3 L型

質(zhì)保期

無

售后要求

無

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技術規(guī)格及參數(shù)

4 L型

質(zhì)保期

無

售后要求

無

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技術規(guī)格及參數(shù)

5*75 十字

質(zhì)保期

無

售后要求

無

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技術規(guī)格及參數(shù)

外徑6 內(nèi)徑4 藍

質(zhì)保期

無

售后要求

無

品牌

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技術規(guī)格及參數(shù)

無

質(zhì)保期

無

售后要求

無

品牌

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型號

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技術規(guī)格及參數(shù)

1000*850*950

質(zhì)保期

無

售后要求

無

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技術規(guī)格及參數(shù)

930*790*590

質(zhì)保期

無

售后要求

無

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技術規(guī)格及參數(shù)

1.Fe靶材 純度4N 尺寸：50.2*1.5mm 2.W 靶材 純度4N 尺寸：50.2*1.5mm 3.Fe2O3靶材 純度4N（帶銅背板）尺寸：50.2*1.5mm 4.SiO2靶材 純度4N （帶銅背板）尺寸50.2*1.5mm5.Si靶材 純度4N （帶銅背板） 尺寸：50.2*3mm6.FeS靶材 純度3N以上（帶銅背板 尺寸：50.2*2mm7.MgO靶材 純度4N （帶銅背板） 尺寸：50.2*2mm8.FeNi靶材 純度3N以上 尺寸：50.2*1.5mm

質(zhì)保期

無

售后要求

無