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品牌

無推薦品牌

型號(hào)

無推薦型號(hào)

技術(shù)規(guī)格及參數(shù)

一、屏蔽電學(xué)測試平臺(tái)
1. 精密探針平臺(tái)
1.1 探針臺(tái)體X、Y方向移動(dòng)行程：50mm，移動(dòng)精度2μm；
1.2 樣品臺(tái)X,Y軸移動(dòng)精度2μm，旋轉(zhuǎn)角度：360度；
1.3 樣品臺(tái)中心吸附孔固定樣品；真空泵流量：7L/min；
1.4 光電屏蔽罩殼，4個(gè)3同軸接口；空間自***路安裝面包板；
1.5顯微低溫探針臺(tái)安裝定制轉(zhuǎn)接件。
2. 三同軸高精度探針座，數(shù)量3個(gè)：
2.1 磁力吸附底座，X-Y-Z方向行程12mm,移動(dòng)精度2μm；
2.2 三同軸探針夾具，漏電流: <100fA，三同軸接頭；
2.3 測試探針：針尖直徑5μm，硬針10PC/box。
二、金相顯微系統(tǒng)
1. 6個(gè)物鏡安裝位，長工作距離物鏡2、5、10、20、50倍各一個(gè)，工作距離均>18mm；
2. 白色LED照明：1W LED，可調(diào)光；濾光片照明特征波長400,470,520,600,670nm；
3. 顯微相機(jī)：1200萬像素，曝光時(shí)間10ms~999ms，自動(dòng)白平衡；
4. 顯微粗微調(diào)支架，調(diào)節(jié)范圍25mm，調(diào)節(jié)精度1um。
三、光電流激發(fā)光源
1. 可見單模保偏光纖激光器組，波長520nm，出纖功率20mW；波長1064nm，出纖功率5mW；
2. 激光及溫度控制器，激光電流最大300mA，激光開關(guān)時(shí)間約5μs；激光光強(qiáng)5%~100%連續(xù)可調(diào)；
3. 激光器調(diào)制功能：采樣率125MHz，調(diào)制最高頻率10MHz，帶同步輸出功能。
四、光源耦***路模塊
1. 光電測試勻化無色差激光照明模塊；
1.1 拉桿式激光切換器，帶OD3衰減片切換器；
1.2 六孔手動(dòng)衰減片轉(zhuǎn)輪，包含OD0.3-OD3共5片衰減片，適用波段200-1700nm；
1.3 4軸角度可***路；
1.4 無色差光纖耦合器，適用波段200nm-10um；
2. 光電測試點(diǎn)狀激光照明模塊；
2.1 拉桿式激光切換器；帶OD3衰減片切換器；
2.2 六孔手動(dòng)衰減片轉(zhuǎn)輪，包含OD0.3-OD3共5片衰減片，適用波段380-1100nm；
2.3 4軸角度可***路，F(xiàn)C/APC可調(diào)光纖耦合器。
五、光電流測試系統(tǒng)
1. 瞬態(tài)光電測試系統(tǒng)，
1.1 光電流測量1nA振幅光電流典型響應(yīng)速度500us，100nA振幅光電流典型響應(yīng)速度50us（客戶自備SR570）；
1.2 光電流采樣率：10MS/s，垂直分辨率16bit；
2. 高精度光功率計(jì)，光強(qiáng)測試范圍200-1100nm，分辨率100pW，量程500pW-50mW；
3. 光電測試軟件，自動(dòng)進(jìn)行I-V、I-t、I-V-光強(qiáng)測試、自動(dòng)激光光強(qiáng)校準(zhǔn)。軟件集成控制客戶提供的源表前置放大器等。
六、光電流掃描模塊，高精度大承重壓電平移臺(tái)，掃描范圍：100μm，定位分辨率：20nm，掃描光學(xué)分辨率：1μm（50倍物鏡），掃描點(diǎn)數(shù)：最大300*300點(diǎn)。

質(zhì)保期

1年質(zhì)保，終身維護(hù)，3年內(nèi)軟件免費(fèi)升級(jí)。

售后要求

1. 售后問題，工作日4小時(shí)內(nèi)響應(yīng)，8小時(shí)內(nèi)提供解決方案，如問題無法遠(yuǎn)程解決，48小時(shí)內(nèi)安排工程師上門維修。 2. 上門安裝、培訓(xùn)儀器操作，時(shí)間不少于3個(gè)工作日。