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一、項目信息

采購人：***

項目名稱：科研儀器設備氟化氫蒸汽刻蝕機系統(tǒng)

擬采購的貨物或者服務的說明：

氟化氫蒸汽刻蝕機系統(tǒng)1套

擬采購的貨物或服務的預算金額******元（人民幣）

采用單一來源采購方式的原因及說明:

***本次擬采購的1套氟化氫蒸汽刻蝕機系統(tǒng)用于在量子芯片制備工藝中，需要去除器件中二氧化硅犧牲層來釋放微結構，使器件處于懸空狀態(tài)。要求系統(tǒng)以無水氣相氟化氫為刻蝕氣體，氣態(tài)乙醇作為載氣，刻蝕速率在10 nm/min至100 nm/min范圍內，刻蝕均勻性，片內均勻性波動≤ ±10%，片間重復性≤ ±10%，可兼容最大直徑200 mm圓片和小片。
經全球調研，英國廠家SPTS公司擁有自主知識產權（US***B2）的無水氟化氫氣相刻蝕工藝，以無水乙醇為催化劑，真正做到無水刻蝕。一方面體現(xiàn)出對硅襯底，金屬以及低應力氮化硅等都有非常好的選擇性，因為在水汽作用下，金屬等其他材料也會被氫氟酸所腐蝕；另一方面在沒有水汽的環(huán)境中，刻蝕釋放的器件不會出現(xiàn)由于液態(tài)張力而與襯底表面的粘附性失效。
綜上所述，英國SPTS是市場上唯一能生產出以實現(xiàn)氟化氫干法、無水釋放二氧化硅犧牲層的刻蝕機廠家。***是廠家授權在大陸唯一代理供貨商，因此申請單一來源方式采購所需的氟化氫蒸汽刻蝕機系統(tǒng)。
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二、擬定供應商信息

名稱：***

地址：***市***區(qū)科學城***路11號2幢1層103室

三、公示期限

******月***日 ?至? ******月***日

四、其他補充事宜：

專家論證意見及專家姓名、工作單位、職稱等信息詳見附件。
由于系統(tǒng)原因，其他未盡事宜及公告顯示內容與附件不同的，以附件為準。
本公示在中國政府采購網發(fā)布。

五、聯(lián)系方式

1.采購人

聯(lián)系人：***　　　　　

地址：***市***區(qū)西北***路10號***區(qū)***樓　　　　　　　　

聯(lián)系方式：*** 轉 8052　　　　　　

2.財政部門

聯(lián)系人：***市財政局采購處

聯(lián)系地址：***市***區(qū)***路3號

聯(lián)系電話：***

3.采購代理機構***

名 稱：***　　　　　　　　　　　　

地　址：***市***區(qū)宣武門***街10號莊勝廣場中央***樓北翼19層　　　　　　　　　　　　

聯(lián)系方式：于曼，***　　　

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