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【,北京,海淀區(qū)】北航智能微納公共創(chuàng)新中心5種設(shè)備機(jī)臺(tái)配套工藝氣體分配控制系統(tǒng)采購(gòu)公告
發(fā)布時(shí)間 2023-11-03 截止日期 立即查看
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招投標(biāo)詳情

1. ? 采購(gòu)貨物有關(guān)信息

1、采購(gòu)貨物相關(guān)信息:

1)貨物名稱(chēng):工藝氣體分配控制系統(tǒng)

2)技術(shù)指標(biāo):

序號(hào)

貨物/服務(wù)名稱(chēng)

詳細(xì)參數(shù)要求

1

工藝氣體分配控制系統(tǒng)


硬件和性能參數(shù)

1. 匹配LPCVD/RPS/RTP/SPTS/真空互聯(lián)系統(tǒng)五臺(tái)設(shè)備的工藝氣體的分配和控制系統(tǒng)。

2. LPCVD設(shè)備配置6路O2/1NH3/1Ar工藝氣體的分配和控制系統(tǒng),配置氧氣XCD偵測(cè)探頭。

3. RPS設(shè)備配置O2/SF6/CF41路工藝氣體的分配和控制系統(tǒng)。

4. RTP配置O2/Ar/He***路工藝氣體的分配和控制系統(tǒng)。

5. SPTS配置SF6/C4F8/PN21路工藝氣體的分配和控制系統(tǒng)。

6. 真空互聯(lián)系統(tǒng)配置Ar/O2/He***路工藝氣體的分配和控制系統(tǒng),1路PN2工藝氣體的分配和控制系統(tǒng)。

7. 配置的系統(tǒng)包***道、閥門(mén)、壓力表、接口、減壓閥,配置的系統(tǒng)需符合半導(dǎo)體工藝氣體相應(yīng)純度要求。

8. 配置的系統(tǒng)需要經(jīng)過(guò)第三方的五項(xiàng)測(cè)試安全質(zhì)量檢測(cè),能夠滿(mǎn)足半導(dǎo)體產(chǎn)線(xiàn)用工藝氣體相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)。


2

售后服務(wù)


售后服務(wù)

1、供應(yīng)商應(yīng)具備完善的售后服務(wù)體系,供應(yīng)商有固定的維護(hù)人員并有能力及時(shí)處理所有可能發(fā)生的故障。

投標(biāo)單位******、地址、電話(huà)、聯(lián)系人等資料。

2、在保質(zhì)期以?xún)?nèi),投標(biāo)人在接到客戶(hù)的維修通知對(duì)故障能在4小時(shí)內(nèi)響應(yīng),24小時(shí)內(nèi)派出有能力的維修人員趕到客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行維修處理(若用戶(hù)提出新的要求,在招標(biāo)文件***)。

3、在保質(zhì)期滿(mǎn)后,投標(biāo)人應(yīng)保證以合理的價(jià)***和保養(yǎng)服務(wù),當(dāng)發(fā)生故障時(shí),投標(biāo)人應(yīng)按保質(zhì)期內(nèi)同樣的要求進(jìn)行維修處理,合理收取維修費(fèi)。

4、質(zhì)保期1年。

5、優(yōu)先考慮具有安全生產(chǎn)許可證、ISO9001質(zhì)量管理體系、知識(shí)產(chǎn)權(quán)管理體系、省部級(jí)及以上工藝企業(yè)質(zhì)量信用A級(jí)及以上等級(jí)相關(guān)資質(zhì)的投標(biāo)人。


3)數(shù)量:

序號(hào)

產(chǎn)品

數(shù)量/單位

1

工藝氣體分配系統(tǒng)

5

4)交貨期:合同簽訂后60天內(nèi)

5)交貨地點(diǎn):北京航空航天大學(xué)微電子學(xué)院

6)是否接受進(jìn)口產(chǎn)品:是

2、采購(gòu)預(yù)算(最高限價(jià)***>49.5萬(wàn)

3、參選單位***:

1)在中華人民共和國(guó)境內(nèi)注冊(cè)、響應(yīng)招標(biāo)、參加響應(yīng)競(jìng)爭(zhēng)的法人、其他組織或者自然人;

2)響應(yīng)人(供應(yīng)商)應(yīng)具備《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法》第二十二條規(guī)定; ?

? ? ① 具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力;

? ? ② 具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度;

? ? ③ 具有履行合同所必需的設(shè)備和專(zhuān)業(yè)技術(shù)能力;

3)本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體響應(yīng);

4)本項(xiàng)目不允許轉(zhuǎn)包、分包;

5)近三年內(nèi),本項(xiàng)目響應(yīng)截止期前,被“信用中國(guó)”網(wǎng)站列入失信被執(zhí)行人和重大稅收違法案件當(dāng)事人名單的、被“中國(guó)政府采購(gòu)網(wǎng)”網(wǎng)站列入政府采購(gòu)嚴(yán)重違法失信行為記錄名單(處罰期限尚未屆滿(mǎn)的),不得參與本項(xiàng)目;

6)法律、行政法規(guī)關(guān)于“合格響應(yīng)人”的其他條件。

4、報(bào)名方式及截止時(shí)間***:

報(bào)名方式:將報(bào)名信息(公司名稱(chēng)、地址、營(yíng)業(yè)執(zhí)照掃描件、銷(xiāo)售人員姓名、聯(lián)系方式等)發(fā)送至郵箱bhsme@buaa.edu.cn。截止報(bào)名時(shí)間202311xx日***時(shí)。

5、競(jìng)價(jià)***式:

時(shí)間202311xx日;方式:鑒于疫情影響,采取視頻會(huì)議方式。具體時(shí)間和開(kāi)會(huì)方式由學(xué)院采購(gòu)工作領(lǐng)導(dǎo)小組辦公室進(jìn)一步通知。

6、參加競(jìng)價(jià)***材料:

11xx18:00前,參選供應(yīng)商需將正式書(shū)面報(bào)價(jià)***料(均需加蓋單位***)郵寄至以下地址:

地址:***市***區(qū)北京航空航天大***區(qū)第一館

常曉陽(yáng)老師收,手機(jī)號(hào):***270

7、采購(gòu)項(xiàng)目經(jīng)辦人聯(lián)系方式(采購(gòu)項(xiàng)目咨詢(xún)):

常曉陽(yáng)老師,郵箱:changxiaoyang@buaa.edu.cn

8、學(xué)院采購(gòu)工作領(lǐng)導(dǎo)小組辦公室聯(lián)系方式(異議或投訴):


本條信息

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