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【,北京,】2英寸分子束外延裝置（清設(shè)比選20231748號）采購公告
標簽： 采購公告2英寸分子束外延裝置（清設(shè)比選20231748號）采購公告招標信息招標采購
發(fā)布時間 2023-11-15 截止日期 立即查看
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招投標詳情

2英寸分子束外延裝置（清設(shè)比選***號）采購公告

采購項目名稱2英寸分子束外延裝置采購項目編號***bind="enquiry.code" class="ng-binding">清設(shè)比選***號
公告開始時間***公告截止時間******
對外聯(lián)系人本項目不接受咨詢咨***道已聯(lián)系電話本項目不接受咨詢咨***道已
簽約時間要求成交后5個工作日內(nèi) (如不按時簽訂合同，采購單位***) 交貨時間要求簽訂合同后7個工作日內(nèi)
采購單位清華大學
最高限價***d colspan="3">?未公布
國內(nèi)合同付款方式貨到付款100%
交貨地址***市清華大學
供應(yīng)商特殊資質(zhì)要求

無

采購清單1
物資名稱采購數(shù)量計量單位
2英寸分子束外延裝置1套
品牌品牌1
型號
品牌2
型號
品牌3
型號
單價***￥?
技術(shù)參數(shù)及配置要求配置清單：
（一）分子束外延生長室
真空優(yōu)于2.0 × 10-4 Pa，由如下部分組成:
1. 1套真空腔體（不銹鋼304，外徑210mm，電化學拋光），配有觀察窗、觀察窗擋板、盲板等
2. 1套電離真空規(guī)和低真空規(guī)，配有真空規(guī)控制器及線纜
3. 1套6***分子泵（抽速600L/s），配有控制器及線纜
4. 1個CF150手動閥(連接分子泵與生長室之間)

（二）樣品加熱臺
定制樣品加熱臺，可進行Z軸移動和繞Z軸連續(xù)轉(zhuǎn)動，由如下部分組成:
1. 樣品加熱臺：采用PBN加熱器，最高加熱溫度不低于800℃，溫度穩(wěn)定性優(yōu)于±0.1℃；配有PID數(shù)字反饋溫控器與線纜?？梢栽谛D(zhuǎn)的同時進行加熱，包含樣品架卡座及旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。旋轉(zhuǎn)機構(gòu)***，由手柄或軟件控制樣品連續(xù)旋轉(zhuǎn)。
2. Z軸位移臺A：用于實現(xiàn)樣品在豎直方向的移動，驅(qū)動方式為手動，最大移動范圍是±50mm，移動精度為1mm，接口法蘭為CF100。
3. 樣品擋板：手動或者氣動控制擋板，用于遮擋或者露出樣品表面。
4. 3個樣品架：用于固定定制樣品。

（三）快速進樣室
真空優(yōu)于2.0 Pa，由如下部分組成:
1. 1套真空腔體（不銹鋼304，外徑152mm，電化學拋光），配有盲板等
2. 1個放氣閥（開腔時高純氮氣入口）
3. 1根長傳樣桿用于在快速進樣室與生長室之間進行樣品傳送，配有傳樣抓手等。
4. 1個快進門（樣品進出真空腔的入口，CF100法蘭）
5. 1套冷陰極真空規(guī)和低真空規(guī)，配有真空規(guī)控制器及線纜
6. 1個CF63手動閥(連接快速進樣室與生長室之間)

（四）附件
1. 1套CL型高溫單坩堝程控蒸發(fā)源
1） 溫度范圍：300-1200℃
2）溫度穩(wěn)定性：±0.1℃
3）坩堝內(nèi)尺寸：φ12mm x 89mm
4）擋板：手動
5）真空內(nèi)長度：200mm（可定制）
6）內(nèi)置水冷套：可選配過溫保護
7）安裝法蘭：DN40CF
8）最高烘烤溫度：200℃
9）溫控器：歐陸表控制的數(shù)字反饋PID控溫
2. 高剛性鋁合金臺架，配有控制器固定面板、氣管固定配件等。
質(zhì)保期12個月

清華大學

***

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