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【,北京,】納米壓印設(shè)備（清設(shè)比選20231957號(hào)）采購(gòu)公告
標(biāo)簽： 采購(gòu)公告北京納米壓印設(shè)備（清設(shè)比選20231957號(hào)）采購(gòu)公告招標(biāo)信息招標(biāo)采購(gòu)
發(fā)布時(shí)間 2023-12-01 截止日期 立即查看
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招投標(biāo)詳情

納米壓印設(shè)備（清設(shè)比選***號(hào)）采購(gòu)公告

采購(gòu)項(xiàng)目名稱納米壓印設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目編號(hào)***bind="enquiry.code" class="ng-binding">清設(shè)比選***號(hào)
公告開始時(shí)間***公告截止時(shí)間******
對(duì)外聯(lián)系人耿祥順咨***道已聯(lián)系電話***132咨***道已
簽約時(shí)間要求成交后5個(gè)工作日內(nèi) (如不按時(shí)簽訂合同，采購(gòu)單位***) 交貨時(shí)間要求簽訂合同后15個(gè)工作日內(nèi)
采購(gòu)單位清華大學(xué)
最高限價(jià)***d colspan="3">?未公布
國(guó)內(nèi)合同付款方式合同簽訂后50%，驗(yàn)收合格后50%
交貨地址***市清華大學(xué)集***路學(xué)院
供應(yīng)商特殊資質(zhì)要求

無(wú)

采購(gòu)清單1
物資名稱采購(gòu)數(shù)量計(jì)量單位
納米壓印設(shè)備1臺(tái)
品牌品牌1
型號(hào)
品牌2
型號(hào)
品牌3
型號(hào)
單價(jià)***￥?
技術(shù)參數(shù)及配置要求1、支持母版和壓印基底尺寸：最大4英寸直徑晶圓，兼容3英寸、2英寸直徑晶圓。
2、壓印過(guò)程中實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)壓印和脫模過(guò)程，無(wú)需手動(dòng)脫模。
3、工作原理：采用高精度輥輪系統(tǒng)作為壓印動(dòng)力，實(shí)現(xiàn)Plate to Plate的漸近式壓印。壓印壓力可在 10000~300000 Pa 之間通過(guò)軟件設(shè)置，用精密比例閥控制壓力。
4、壓印壓力：壓印壓力可在 10000-500000 Pa 之間通過(guò)軟件設(shè)置，精密比例閥控制壓力。
***元：光源波長(zhǎng)365nm，最大功率可達(dá)1000 mW/cm2，曝光均勻性≥85%
6、基底加熱系統(tǒng)：軟件控溫，加熱溫度室溫至 70°C，溫度均勻性：±3%，溫度設(shè)置精度：±1°C
7、轉(zhuǎn)印精度誤差：小于±5%
8、殘余層厚度：可達(dá)20 nm及以下。測(cè)試方法為連續(xù)壓印10片，選取第1、5、10片壓印片，片內(nèi)測(cè)試任意3點(diǎn)。
9、壓印線寬：壓印結(jié)構(gòu)精度最小可達(dá)10 nm，驗(yàn)收過(guò)程中由廠家證明可壓印50 nm結(jié)構(gòu)精度。
10、壓印結(jié)構(gòu)深寬比：7.5:1。由廠家提供高深寬比模具壓印，模具直徑至少為6英寸，上面均勻分布9個(gè)***區(qū)域，***區(qū)域面積大小為100 μm×100 μm，該區(qū)域中包含線寬為120~140 nm的光柵結(jié)構(gòu)，同時(shí)結(jié)構(gòu)深度1 μm、周期為1.12~1.14 μm，壓印后深寬比為7.5:1。

納米壓印機(jī)：1臺(tái)；
隨機(jī)附件：工作模具框 1個(gè)。
壓印線寬：壓印結(jié)構(gòu)精度最小可達(dá)10nm，驗(yàn)收過(guò)程中由廠家證明可壓印50nm結(jié)構(gòu)精度
壓印結(jié)構(gòu)深寬比：7.5：1
殘余層厚度：可達(dá)20nm及以下。測(cè)試方法為連續(xù)壓印10片，選取第1、5、10片壓印片，片內(nèi)測(cè)試任意3點(diǎn)
曝光均勻性：≥85%
基底臺(tái)盤加熱均勻性：±3%

動(dòng)力及水電氣等要求：
電壓：AC 220 V電源，50 Hz；
功率：4.5 KW
壓縮空氣（CDA）：壓力≥0.7 MPa，6 mm快插接頭
真空（Vacuum）：≥-80 KPa，6 mm快插接頭
質(zhì)保期12個(gè)月

清華大學(xué)

***

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