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【,北京,】納米壓印設備（清設比選20231957號）采購公告
標簽： 采購公告北京納米壓印設備（清設比選20231957號）采購公告招標信息招標采購
發(fā)布時間 2023-12-01 截止日期 立即查看
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招投標詳情

納米壓印設備（清設比選***號）采購公告

采購項目名稱納米壓印設備采購項目編號***bind="enquiry.code" class="ng-binding">清設比選***號
公告開始時間***公告截止時間******
對外聯系人耿祥順咨***道已聯系電話***132咨***道已
簽約時間要求成交后5個工作日內 (如不按時簽訂合同，采購單位***) 交貨時間要求簽訂合同后15個工作日內
采購單位清華大學
最高限價***d colspan="3">?未公布
國內合同付款方式合同簽訂后50%，驗收合格后50%
交貨地址***市清華大學集***路學院
供應商特殊資質要求

無

采購清單1
物資名稱采購數量計量單位
納米壓印設備1臺
品牌品牌1
型號
品牌2
型號
品牌3
型號
單價***￥?
技術參數及配置要求1、支持母版和壓印基底尺寸：最大4英寸直徑晶圓，兼容3英寸、2英寸直徑晶圓。
2、壓印過程中實現全自動壓印和脫模過程，無需手動脫模。
3、工作原理：采用高精度輥輪系統(tǒng)作為壓印動力，實現Plate to Plate的漸近式壓印。壓印壓力可在 10000~300000 Pa 之間通過軟件設置，用精密比例閥控制壓力。
4、壓印壓力：壓印壓力可在 10000-500000 Pa 之間通過軟件設置，精密比例閥控制壓力。
***元：光源波長365nm，最大功率可達1000 mW/cm2，曝光均勻性≥85%
6、基底加熱系統(tǒng)：軟件控溫，加熱溫度室溫至 70°C，溫度均勻性：±3%，溫度設置精度：±1°C
7、轉印精度誤差：小于±5%
8、殘余層厚度：可達20 nm及以下。測試方法為連續(xù)壓印10片，選取第1、5、10片壓印片，片內測試任意3點。
9、壓印線寬：壓印結構精度最小可達10 nm，驗收過程中由廠家證明可壓印50 nm結構精度。
10、壓印結構深寬比：7.5:1。由廠家提供高深寬比模具壓印，模具直徑至少為6英寸，上面均勻分布9個***區(qū)域，***區(qū)域面積大小為100 μm×100 μm，該區(qū)域中包含線寬為120~140 nm的光柵結構，同時結構深度1 μm、周期為1.12~1.14 μm，壓印后深寬比為7.5:1。

納米壓印機：1臺；
隨機附件：工作模具框 1個。
壓印線寬：壓印結構精度最小可達10nm，驗收過程中由廠家證明可壓印50nm結構精度
壓印結構深寬比：7.5：1
殘余層厚度：可達20nm及以下。測試方法為連續(xù)壓印10片，選取第1、5、10片壓印片，片內測試任意3點
曝光均勻性：≥85%
基底臺盤加熱均勻性：±3%

動力及水電氣等要求：
電壓：AC 220 V電源，50 Hz；
功率：4.5 KW
壓縮空氣（CDA）：壓力≥0.7 MPa，6 mm快插接頭
真空（Vacuum）：≥-80 KPa，6 mm快插接頭
質保期12個月

清華大學

***

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