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北京理工大學(xué)無掩膜深硅刻蝕檢測一體化系統(tǒng)采購（2024-30802-ZC0599）補遺/變更公告

發(fā)布時間： 2024-12-12
發(fā)布時間 2024-12-12 截止日期 立即查看
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采購公告詳情

北京理工大學(xué)無掩膜深硅刻蝕檢測一體化系統(tǒng)采購 更正公告 一、項目基本情況 原公告的采購項目編號***采購項目名稱：北京理工大學(xué)無掩膜深硅刻蝕檢測一體化系統(tǒng)采購公 開招標公告　　　　　　 首次公告日期： 2024 年 12 月 06 日　　　　　　 二、更正信息 更正事項：采購 文件 更正內(nèi)容： 1 、原 招標文件“第一章 投標邀請” 附件中“主要技術(shù)要求” ： 附件： （一）無掩膜高深比切割與檢測設(shè)備 1. # 最大峰值刻蝕功率≥ 2000w 。 2. 平均刻蝕功率≥ 100w 。 3. # 平臺測試定位精度：不高于 ± 0.2μm 。 4. 需要包含惰性氣體保護系統(tǒng)。 5. 刻蝕速度范圍包括 50~1000μm/min 。 6. 光學(xué)放大倍率范圍包括 4~10 倍。 7. 精密測量模塊定位精度：不高于 ± 0.2μm 。 8. 直線度：不高于 ± 0.4μm 。 9. # 測量行程≥ 200 mm 。 10. 輸出頻率包括 0~40Mhz 。 11. # 輸***道≥ 2 。 12. 上升 / 下降時間≤ 9 ns 。 13. 測試波長范圍包括 400~1100nm 。
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