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一、項(xiàng)目名稱：表***區(qū)光學(xué)及物理性質(zhì)綜合表征系統(tǒng)

二、招標(biāo)編號******

地址：***省***市***路50號***樓0904室

郵編：215021　　　　　　　傳真：***

聯(lián)系人：***　　　　　　電話：***，***

電子郵箱：[emailprotected]

技術(shù)聯(lián)系人：Ivasenko Oleksandr Sergiiovych老師　

電話：***，***068

電子郵箱：[emailprotected]

四、招標(biāo)貨物品名、數(shù)量及主要性能參數(shù)要求

　表***區(qū)光學(xué)及物理性質(zhì)綜合表征系統(tǒng)1套

　　表***區(qū)光學(xué)及物理性質(zhì)綜合表征系統(tǒng)通過橢偏儀與掃描探針顯微鏡的聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)表界面分子組裝及原位實(shí)時反應(yīng)的表界面表征，在獲得薄膜的膜厚、折射率、吸光系數(shù)、帶隙、介電常數(shù)等信息外，同時獲***區(qū)域的納米級空間分辨率的表面形貌、力學(xué)、電學(xué)、磁學(xué)等信息。

（一）主要技術(shù)指標(biāo)及配置要求

　1、技術(shù)要求

1.1應(yīng)用于測量各類薄膜的膜厚及光學(xué)參數(shù)（n，k），對特殊結(jié)構(gòu)的材料具有光學(xué)性能分析能力；同時具備完整的形貌學(xué)、電學(xué)、力學(xué)等測量功能。

1.2測量范圍：Psi= 0°～90°，Delta= 0°～360°，***區(qū)。

*1.3 Psi和Delta精確度測量：直射測量空氣（Psi = 45°,Delta = 0°），滿足：

Ψ≤45°±0.01°，Δ≤0°±0.02° （1.5eV-5eV）。（提供制造商官網(wǎng)網(wǎng)址鏈接及截屏證明）

1.4測量重復(fù)性（80nm -100nm SiO₂/Si樣品，30次測量標(biāo)準(zhǔn)偏差1δ）：厚度d≤±0.4，折射率n（633nm）≤0.0003。

1.5 具備穩(wěn)定的原子級、分子級分辨能力。

　2、橢圓偏振光譜儀配置

2.1光譜范圍覆蓋190nm～2100nm。

2.2 激發(fā)頭

2.2.1光源：高穩(wěn)定氙燈，功率≥75W，包括電源和用于監(jiān)測燈壽命的計時器。

2.2.2使用消色差反射鏡系統(tǒng)將激發(fā)光聚焦到樣品上。

*2.3 探測頭：要求采用光彈調(diào)制的相位調(diào)制技術(shù)，頻率≥30kHz。（提供制造商官網(wǎng)網(wǎng)址鏈接及截屏證明）

2.4探測系統(tǒng)：

2.4.1雙級相加光譜儀，2次分光抑制雜散光。

2.4.2高雜散光抑制比，雜散光水平低至10^-8。

2.4.3配置光電倍增管PMT以及InGaAs檢測器。

2.5入射角：自動量角器，角度可從40°到90°變化，最小步進(jìn)為0.02°。

2.6 自動樣品臺：X范圍200 mm , 最小步長0.02 mm；Y范圍200 mm , 最小步長0.02 mm。

2.7配置基于反射鏡的消色差微光斑，至少提供三個光斑尺寸（90度入射）：50um，100um，1mm。

2.8 提供透射樣品池，能夠測試透過率。

　3、掃描探針顯微鏡

3.1 測量模式，必須具備如下全部測量模式：

3.1.1輕敲模式(AC mode)

3.1.2接觸模式(Contact mode)

3.1.3非接觸模式（Non-contact mode）

3.1.4耗散模式（Dissipation mode）

3.1.5相位成像模式 (Phase imaging)

3.1.6橫向力模式(Lateral force Microscopy LFM)

3.1.7磁場力顯微鏡(Magnetic Force Microscopy, MFM)

3.1.8壓電力顯微鏡(Piezo Response Force Microscopy, PFM)

3.1.9靜電力顯微鏡(Electric Force Microscopy, EFM)

3.1.10掃描開爾文顯微鏡(Kelvin probe force microscopy,含AM-KPFM和FM-KPFM)

3.1.11掃描電容顯微鏡(Scanning Capacitance Microscopy, SCM)

3.1.12力曲線測試（Force curve）

3.1.13力陣列測量(Force mapping Measurement)

3.1.14力調(diào)制模式（Force modulation mode）

3.1.15抬高模式（Two-pass scan）

3.1.16納米刻蝕(Nanolithography)

3.1.17納米操縱(Nanomanipulation)

3.1.18液體環(huán)境AFM( AFM in liquid)

3.1.19導(dǎo)電力模式（conductive Force Microscopy CAFM ）

3.1.20掃***道顯微鏡(ScanningTunnelingMicroscope, STM)

3.2 掃描器

3.2.1掃描方式：樣品掃描。

3.2.2閉環(huán)平板掃描器，掃描范圍：≥100μm×100μm ×15μm。

3.2.3掃描器非線性≤0.05%

3.2.4掃描器熱漂移≤0.5nm/min。

*3.2.5高頻共振掃描器：XY軸≥7kHz；Z軸≥10kHz。（提供制造商官網(wǎng)網(wǎng)址鏈接及截屏證明）

3.2.6使用同一個掃描器完成大至100μm×100μm，小至分子分辨率的范圍掃描，無需更換掃描器。

3.2.7針尖-樣品趨近方式：馬達(dá)全自動趨近。

3.3 高精度AFM測量頭

3.3.1系統(tǒng)噪聲≤0.05nm RMS。

*3.3.2反饋激光≥1000nm。獨(dú)立AFM反饋激***路，反饋激光不允許穿過任何其它光譜激發(fā)物鏡。（提供制造商官網(wǎng)網(wǎng)址鏈接及截屏證明）

3.3.3軟件操作“反饋激光—懸臂梁”快速全自動準(zhǔn)直，無需手動調(diào)整。

3.3.4更換探針操作簡單，無需從系統(tǒng)上移除AFM測量頭，無需移動樣品。

3.3.5可以兼容液體環(huán)境成像功能。

3.4 樣品臺

3.4.1最大樣品尺寸≥50×40mm, 最大樣品厚度≥15mm。

3.4.2自動樣品臺，XY方向最大位移范圍≥5mm，樣品臺定位精度≤1μm。

3.5 導(dǎo)電力顯微鏡（CAFM）專用配置包

3.5.1電流范圍：100fA-10uA , 電流分辨率：≤60fA。

3.5.2電流范圍：-10 V到+7V。

3.5.3提供伏安特性曲線。

3.6 多模式AFM針尖包

3.6.1非接觸和輕敲模式探針，懸臂背面鍍有反射層，15根。

3.6.2AFM探針用于開爾文，導(dǎo)電AFM，靜電力，有鍍層，15根。

3.6.3磁力顯微鏡探針，15根。

3.6.4 接觸模式或液體模式探針，有鍍層，15根。

3.7 高精度高頻數(shù)字控制器

3.7.1模塊化全數(shù)字?jǐn)U展控制器。

3.7.2數(shù)字信號處理器≥300MHz。

3.7.3數(shù)模轉(zhuǎn)換器≥500 kHz，通道≥20個，記錄系統(tǒng)的頻率范圍≥5 MHz。

3.7.42套頻率范圍為5 MHz的鎖相放大器。

3.7.58套數(shù)字32位發(fā)生器，5 MHz頻率范圍，0.018Hz精確度。

3.7.67步進(jìn)馬達(dá)控制。

3.8 其它

3.8.1頂視CMOS相機(jī)系統(tǒng)，分辨率≤1μm。

（二）質(zhì)保期不少于1年

五、評分標(biāo)準(zhǔn)

本次招標(biāo)采用綜合評分法，總分為1***分，具體內(nèi)容如下：

（一）技術(shù)參數(shù)、配置及整體綜合性能分（***分）

1．技術(shù)參數(shù)及配置（***分）

投標(biāo)人需提供反映該產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)的測試報告或產(chǎn)品說明書等作為評標(biāo)依據(jù)，否則視為偏離。

（1）所投標(biāo)產(chǎn)品多項(xiàng)參數(shù)偏離招標(biāo)要求，或參數(shù)偏離超出用戶教學(xué)、科研可接受范圍的，經(jīng)評標(biāo)委員會評審可作為無效投標(biāo)。

（2）所投產(chǎn)品不滿足招標(biāo)文件***“*”技術(shù)條款要求的（偏離）、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不清或缺漏項(xiàng)的，每處扣***分。

（3）所投產(chǎn)品不滿足招標(biāo)文件***“*”技術(shù)條款要求的（偏離）、配置不詳、技術(shù)參數(shù)不清或缺漏項(xiàng)的，每處扣***分。

2．綜合性能情況（***分）

（1）所投產(chǎn)品性能參數(shù)優(yōu)于招標(biāo)文件***（評委會認(rèn)為超出指標(biāo)有意義的）（***分）。其中優(yōu)于項(xiàng)，每處加***分。

（2）所投產(chǎn)***市場反饋情況（***分）。根據(jù)所投產(chǎn)品的品牌影響力、市場占有率（同行業(yè)為主）、現(xiàn)有用戶的反饋情況、使用投標(biāo)產(chǎn)品發(fā)表的學(xué)術(shù)論文情況等綜合評定。

（二）價***分）

1．評標(biāo)基準(zhǔn)價***文件***，評標(biāo)基準(zhǔn)價***分；

2．其他投標(biāo)供應(yīng)商的投標(biāo)報價***列公式計算：投標(biāo)報價***標(biāo)基準(zhǔn)價***）×***分。

（三）綜合商務(wù)（***分）

1．投標(biāo)人綜合實(shí)力（***分）

根據(jù)投標(biāo)人綜合實(shí)力評定。

2．售后服務(wù)與培訓(xùn)情況等（***分）

（1）質(zhì)保期（***分）。符合招標(biāo)文件***，得***分，每增加一年質(zhì)保期加***分。

（2）服務(wù)、技術(shù)支持與培訓(xùn)承諾情況（***分）。

根據(jù)投標(biāo)文件的相關(guān)承諾，在服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)設(shè)置情況、服務(wù)響應(yīng)時間、現(xiàn)有用戶對產(chǎn)品售后服務(wù)情況及服務(wù)水平的反饋等綜合評定。

3．其它（***分）

（1）投標(biāo)文件質(zhì)量（***分）。根據(jù)投標(biāo)文件的規(guī)范性、完整性等情況綜合評定。

（2）其它優(yōu)惠措施等（***分）。根據(jù)投標(biāo)人提供的在招標(biāo)文件***，評標(biāo)委員會認(rèn)可的優(yōu)惠措施綜合評定。

六、本次招標(biāo)采用一次性報價***。報價***儀器設(shè)備費(fèi)、安裝調(diào)試費(fèi)、測試驗(yàn)收費(fèi)、培訓(xùn)費(fèi)、運(yùn)行維護(hù)費(fèi)、稅金（含美國產(chǎn)品被加征關(guān)稅）、國際國內(nèi)運(yùn)輸費(fèi)、保險和其他為完成本項(xiàng)目所發(fā)生的一切費(fèi)用。

七、投標(biāo)文件的組成

（一）投標(biāo)文件一

1、投標(biāo)函

2、投標(biāo)報價***

3、詳細(xì)配置及分項(xiàng)報價***>

（二）投標(biāo)文件二（文件中不得出現(xiàn)所投產(chǎn)品報價***報價***標(biāo)處理）

1、投標(biāo)基本情況一覽表

2、詳細(xì)配置清單、技術(shù)規(guī)格偏離表和投標(biāo)產(chǎn)品彩頁

3、技術(shù)方案、服務(wù)承諾、培訓(xùn)承諾

4、資格證明文件

特別說明：

1、“投標(biāo)文件一”和“投標(biāo)文件二”應(yīng)分別裝訂和密封，并加蓋投標(biāo)單位***

2、“投標(biāo)文件一”，正本一份，副本一份

“投標(biāo)文件二”，正本一份，副本五份

3、相關(guān)材料及填寫規(guī)范按照《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》第三條“投標(biāo)文件”中的具體要求執(zhí)行

八、貨物交貨期、交貨地點(diǎn)、付款方式、安裝、調(diào)試、驗(yàn)收以及售后服務(wù)等相關(guān)商務(wù)要求，按照《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》第21條中的要求執(zhí)行。

九、招標(biāo)文件***：人***元（相關(guān)繳納事宜詳見附件3），售后不退。

十、各投標(biāo)人在投標(biāo)前，須認(rèn)真閱讀《蘇州大學(xué)招標(biāo)采購儀器設(shè)備投標(biāo)人須知》和本招標(biāo)公告，完全了解并接受其所有條款及要求，并在******月***日12：00前將報名函（格式見附件4）發(fā)送郵件至采購人處（[emailprotected]）；未在蘇州大學(xué)供應(yīng)商庫(http***u.cn)注冊的供應(yīng)商，請在遞交招標(biāo)文件***。

十一、遞交投標(biāo)文件相關(guān)事宜：

　（一）順豐快遞郵寄方式（建議優(yōu)先采用）

　　1. 寄達(dá)時間：******月***日9：00前；

　　2. 收件人信息：

　　　收件人：丁悅

　　　聯(lián)系方式：***427

　　　收件地址：***省***市***路50號蘇大***區(qū)（采購與招投標(biāo)管理中心）

　（二）現(xiàn)場遞交方式

　　1. 遞交時間：******月***日8:30～9：00

　　2. 遞交地點(diǎn)：***省***市***路50號蘇州大學(xué)***區(qū)東大門

十二、投標(biāo)截止時間***：******月***日9:00。

十三、開標(biāo)時間：******月***日9:00。

招標(biāo)附件.rar