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***受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2022-12-01在中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
1、招標(biāo)條件
項(xiàng)目概況:***擬采購(gòu)1套等離子輔助原子層沉積系統(tǒng)（金屬）。該系統(tǒng)具有用熱法與等離子體增強(qiáng)法兩種沉積模式，主要用于沉積制備具有超薄、均勻性好的功能納米薄膜材料，采用異型曲面樣品加熱臺(tái)及優(yōu)化流體結(jié)構(gòu)，采用先進(jìn)的遠(yuǎn)程ICP電感耦合等離子體輔助沉積技術(shù)，在低功率（不損壞襯底）、低溫下，制備超?。?~100 nm）、均勻性好的金屬氧化物，如金屬膜（Pt，Co等）、High-k介質(zhì)膜Al2O3、TiO2、HfO2等、TSV通孔及深溝槽器件薄膜、化合物疊層及各類(lèi)摻雜工藝薄膜等功能納米薄膜材料。
資金到位或資金來(lái)源落實(shí)情況:已落實(shí)
項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說(shuō)明:已具備
2、招標(biāo)內(nèi)容
招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào)***/09
招標(biāo)項(xiàng)目名稱(chēng):***等離子輔助原子層沉積系統(tǒng)（金屬）
項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國(guó)***市
招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號(hào)	產(chǎn)品名稱(chēng)	數(shù)量	簡(jiǎn)要技術(shù)規(guī)格	備注
1	等離子輔助原子層沉積系統(tǒng)（金屬）	1套	*1.2喇叭口式ICP遠(yuǎn)程等離子體反應(yīng)腔，優(yōu)化的氣流分布結(jié)構(gòu)，半球式樣品加熱臺(tái)，加熱臺(tái)至于真空腔體中；其余詳見(jiàn)“第八章貨物需求一覽表及技術(shù)規(guī)格”。	預(yù)算金額***2***元。 最高限價(jià)***標(biāo)價(jià)*****元人民幣。交貨期：合同生效后8個(gè)月內(nèi)；交付地點(diǎn)：***用戶(hù)指定地點(diǎn)。

3、投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績(jī):1）投標(biāo)人為制造商時(shí)，須提供制造商資格聲明函（見(jiàn)格式 IV-9-2）；投標(biāo)人為代理商時(shí)，須提供資格聲明函（見(jiàn)格式 IV-9-3）及制造商提供的針對(duì)本項(xiàng)目的授權(quán)書(shū)（見(jiàn)格式 IV-9-4）； 2）投標(biāo)人開(kāi)戶(hù)銀行在開(kāi)標(biāo)日前三個(gè)月內(nèi)開(kāi)具的資信證明原件或復(fù)印件； 3）投標(biāo)人須在投標(biāo)截止期之前在國(guó)家商務(wù)部指定的機(jī)電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)電子交易平臺(tái)（以下簡(jiǎn)稱(chēng)機(jī)電產(chǎn)品交易平臺(tái)，網(wǎng)址為：http***ding.com）上完成有效注冊(cè)； 4）不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受
未領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件***:不可以
4、招標(biāo)文件***
招標(biāo)文件***:2022-12-01
招標(biāo)文件***:2022-12-08
是否在線售賣(mài)標(biāo)書(shū):否
獲取招標(biāo)文件***:現(xiàn)場(chǎng)領(lǐng)購(gòu)
招標(biāo)文件***：***市***路200號(hào)盛泰國(guó)際大廈606室
招標(biāo)文件***:￥500/$80
其他說(shuō)明:1） 投標(biāo)人報(bào)名時(shí)須先登錄“***數(shù)字化采購(gòu)平臺(tái)（http***tu.edu.cn/）” 供應(yīng)商注冊(cè)進(jìn)行網(wǎng)上注冊(cè)。（2）注冊(cè)轉(zhuǎn)賬之后，請(qǐng)務(wù)必發(fā)郵件說(shuō)明。郵件主題包含：投標(biāo)人名稱(chēng)+項(xiàng)目編號(hào)***證。發(fā)送至zjzb2022@126.com。
5、投標(biāo)文件的遞交
投標(biāo)截止時(shí)間***（開(kāi)標(biāo)時(shí)間）***
投標(biāo)文件送達(dá)地點(diǎn):***市***路200號(hào)盛泰國(guó)際大廈606室
開(kāi)標(biāo)地點(diǎn):***市***路200號(hào)盛泰國(guó)際大廈606室
6、投標(biāo)人在投標(biāo)前應(yīng)在必聯(lián)網(wǎng)（http***om）或機(jī)電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)電子交易平臺(tái)（http***dding.com）完成注冊(cè)及信息核驗(yàn)。評(píng)標(biāo)結(jié)果將在必聯(lián)網(wǎng)和中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)公示。
7、聯(lián)系方式
招標(biāo)人:***
地址:***市***區(qū)***路800號(hào)
聯(lián)系人:***：陳老師；技術(shù)聯(lián)系人：***
聯(lián)系方式***；****8020
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu):***
地址:***市***路200號(hào)盛泰國(guó)際大廈606室
聯(lián)系人:***、張瑩瑩、朱楊峰
聯(lián)系方式****108
8、匯款方式:
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)***(人民幣):中國(guó)建設(shè)銀行上海斜橋支行
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)******元):中國(guó)建設(shè)銀行上海黃浦支行
賬號(hào)(人民幣):*** 其他:戶(hù)名：***
9、其他補(bǔ)充說(shuō)明
其他補(bǔ)充說(shuō)明:校內(nèi)編號(hào)***>