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一、采購(gòu)項(xiàng)目基本情況

1.項(xiàng)目編號(hào)***>

2.項(xiàng)目名稱(chēng)：MEMS晶圓/表芯高真空探針測(cè)試系統(tǒng)；

3.預(yù)算金額***；

4.最高限價(jià)***；

5.采購(gòu)需求：MEMS晶圓/表芯高真空探針測(cè)試系統(tǒng)一套，具體要求附后；

6.合同履行期限：******月***日；

7.本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體響應(yīng)

8．本項(xiàng)目是否接受進(jìn)口產(chǎn)品：否

二、申請(qǐng)人的資格要求

1.滿足《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法》第二十二條規(guī)定：

2.本項(xiàng)目的特定資格要求：

2.1參加本次采購(gòu)活動(dòng)前3年內(nèi)，供應(yīng)商單位***；

2.2截至提交響應(yīng)文件截止時(shí)間***，供應(yīng)商不得為“信用中國(guó)”網(wǎng)站（www***）、中國(guó)政府采購(gòu)網(wǎng)（www***）中被列入失信被執(zhí)行人或重大稅收違法案件當(dāng)事人名單或政府采購(gòu)嚴(yán)重違法失信行為記錄名單中被財(cái)政部門(mén)禁止參加政府采購(gòu)活動(dòng)的供應(yīng)商（處罰決定規(guī)定的時(shí)間和地域范圍內(nèi)）；

2.3被列入中國(guó)工程物理研究院不良行為記錄名單的供應(yīng)商及其法定代表人名下的其他企業(yè)在禁止期內(nèi)不得參加本次購(gòu)活動(dòng)；

2.4單位***、管理關(guān)系的不同供應(yīng)商，不得參加同一合同項(xiàng)下的政府采購(gòu)活動(dòng)。為采購(gòu)項(xiàng)目提供整體設(shè)計(jì)、規(guī)范編制或者項(xiàng)目管理、監(jiān)理、檢測(cè)等服務(wù)的供應(yīng)商，不得再參加該采購(gòu)項(xiàng)目的其他采購(gòu)活動(dòng)；

三、獲取競(jìng)爭(zhēng)性談判文件

1.時(shí)間：******月***日至******月***日，每天上午8:10至11:30，下午14:30至17:30（北京時(shí)間，法定節(jié)假日除外）。

2.地點(diǎn)：***省***市***區(qū)科學(xué)城中物院物資部。

3.方式：免費(fèi)現(xiàn)場(chǎng)領(lǐng)取、郵件發(fā)送或郵寄（郵資到付）。獲取競(jìng)爭(zhēng)性談判文件時(shí)，供應(yīng)商需向聯(lián)系人提供經(jīng)辦人身份證明材料（身份證明材料包括：供應(yīng)商為法人或者其他組織的，需提供單位***、經(jīng)辦人身份證明；供應(yīng)商為自然人的，需提供本人身份證明）和聯(lián)系電話、郵箱。

聯(lián)系人：***

聯(lián)系電話：***/***869      電子郵箱：***20@qq.com

4.確認(rèn)以上資料無(wú)誤后，采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)***。

四、提交響應(yīng)文件截止時(shí)間***

截止時(shí)間***:******月***日14點(diǎn)45（北京時(shí)間）；

地點(diǎn)：***省***市科學(xué)城中物院招投標(biāo)交易中心（科學(xué)***區(qū)動(dòng)力部?jī)?nèi)）。

五、開(kāi)啟

時(shí)間：******月***日14點(diǎn)45（北京時(shí)間）；

地點(diǎn)：***省***市科學(xué)城中物院招投標(biāo)交易中心（科學(xué)***區(qū)動(dòng)力部?jī)?nèi)）。 

六、公告期限

自本公告發(fā)布之日起3個(gè)工作日。

七、其他補(bǔ)充事宜

1.本項(xiàng)目需要落實(shí)的政府采購(gòu)政策：扶持不發(fā)***區(qū)和少數(shù)民***區(qū)、促進(jìn)中小企業(yè)發(fā)展政策、支持某某企業(yè)發(fā)展政策、促進(jìn)殘疾人就業(yè)政策、優(yōu)先購(gòu)買(mǎi)節(jié)能產(chǎn)品政策、優(yōu)先購(gòu)買(mǎi)環(huán)境標(biāo)志產(chǎn)品政策、強(qiáng)制購(gòu)買(mǎi)節(jié)能產(chǎn)品政策、優(yōu)先采購(gòu)無(wú)線局域網(wǎng)認(rèn)證產(chǎn)品政策、《關(guān)于開(kāi)展政府采購(gòu)信用擔(dān)保試點(diǎn)工作的通知》。

2.響應(yīng)文件必須在提交響應(yīng)文件截止時(shí)間***。逾期送達(dá)或未按照競(jìng)爭(zhēng)性談判文件要求密封的響應(yīng)文件不予接收。本次采購(gòu)不接受郵寄的響應(yīng)文件。

3.本公告在中國(guó)工程物理研究院招投標(biāo)信息網(wǎng)上發(fā)布。

八、凡對(duì)本次采購(gòu)提出詢(xún)問(wèn)，請(qǐng)按以下方式聯(lián)系

1.采購(gòu)人信息

名稱(chēng)：***

地 址：四川綿陽(yáng)***區(qū)***路64號(hào)

聯(lián)系方式:***

2.采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)***

名稱(chēng)：中國(guó)工程物理研究院物資部

地　址：***省***市***區(qū)科學(xué)城中物院物資部

聯(lián)系方式：***　

3.項(xiàng)目聯(lián)系方式

項(xiàng)目聯(lián)系人***/span>

電　話：***

2021年***月***日

附件：

MEMS晶圓/表芯高真空探針測(cè)試系統(tǒng)技術(shù)要求

1　概述

本項(xiàng)目研制MEMS晶圓/表芯高真空探針測(cè)試系統(tǒng)。該測(cè)試系統(tǒng)主要用于4寸晶圓圓片級(jí)材料特性（幾何特征、電阻率）檢測(cè)，以及MEMS微器件流片過(guò)程中的表芯特性測(cè)試，其中表芯特性測(cè)試需提供高真空（≤1e-4Pa）以及高低溫環(huán)境（-120℃~200℃）。

測(cè)試系統(tǒng)主要由以下功能模塊構(gòu)成：

l  高真空高低溫探針臺(tái)（真空腔室內(nèi)集成速率旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)）；

l  電學(xué)驅(qū)動(dòng)與檢測(cè)模塊；

l  ***道高速采樣與處理模塊；

l  晶圓幾何特征與電阻率測(cè)試模塊。

2　適用范圍

本要求規(guī)定了MEMS晶圓/表芯高真空探針測(cè)試系統(tǒng)在研制、檢驗(yàn)、驗(yàn)收、包裝運(yùn)輸及售后服務(wù)期等環(huán)節(jié)的技術(shù)要求，適用于MEMS晶圓/表芯高真空探針測(cè)試系統(tǒng)研制、交付及售后服務(wù)全過(guò)程。

3　引用文件

    本項(xiàng)目無(wú)引用文件。

4　技術(shù)要求

4.1　產(chǎn)品主要功能及指標(biāo)

★1）高真空高低溫探針臺(tái)（一臺(tái)）：

a）真空度：≤1e-4Pa；

b）高低溫加載范圍：-120℃～200℃,溫度精度：優(yōu)于0.01℃；

c）光學(xué)顯微模塊：光學(xué)放大倍率不小于100×；

d）系統(tǒng)接口：電信號(hào)接口、真空接口、冷源接口；

e）探針臂6個(gè)，探針卡4套（每套探針卡搭配探針數(shù)量不少于4個(gè)），探針直徑30μm~80μm，探針位移范圍：X方向不小于50mm；Y、Z方向分別不小于15mm；

f）內(nèi)置旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)***：位置、速率、搖擺，旋轉(zhuǎn)速率范圍不大于20°/s。

★2）電學(xué)驅(qū)動(dòng)與檢測(cè)模塊（一套）：

（a）模擬輸入范圍：±3.5V；頻率范圍：DC~50MHz；A/D轉(zhuǎn)換位數(shù)：14bit，采樣率210MS/s；

（b）模擬輸出范圍：±10mV，±100mV，±1V，±10V；頻率范圍：DC~50MHz；D/A轉(zhuǎn)換位數(shù)：16bit，210MS/s；

（c）2個(gè)***元，2個(gè)信號(hào)發(fā)生器；***元支持1個(gè)基頻檢測(cè)和2個(gè)諧波檢測(cè)；

（d）軟件具備頻率響應(yīng)分析、FFT頻譜分析、示波顯示；

（e）解調(diào)器數(shù)量：6個(gè)雙相；濾波器時(shí)間常數(shù)1μs~500s，濾波器階數(shù)6、12、18、24、30dB/Oct，濾波器帶寬80μHz~220kHz，參考頻率分辨率0.7μHz；參考相位分辨率1e-6°；

（f）內(nèi)部振蕩器輸出正弦波，±1V，10MHz，內(nèi)部振蕩器穩(wěn)定性30ppm；

（g）USB2.0（或以上）高速接口，480Mbit/s，前置放大器控制總線ZCtrl專(zhuān)有總線控制外部前置放大器，同步總線Zsync專(zhuān)有總線連接ZI本地儀器，數(shù)字I/O32位；

★3）***道高速采樣與處理模塊（一套）

a）4個(gè)數(shù)據(jù)采***道；

b）采樣速率：200kS/s；

c）ADC類(lèi)型：雙24bit delta-sigma；

d）處理模塊：數(shù)學(xué)運(yùn)算（線性函數(shù)、三角函數(shù)、矩陣、復(fù)數(shù)、邏輯計(jì)算、FFT等）、數(shù)字濾波（IIR、FIR）、統(tǒng)計(jì)運(yùn)算。

★4）多功能晶片檢測(cè)模塊：

a）厚度及翹曲度晶片檢測(cè)系統(tǒng)（一套）

晶片尺寸：四英寸圓片；

厚度測(cè)試范圍0.1mm~1mm，絕對(duì)偏差≤±1微米，重復(fù)性1δ≤0.15微米，線性度±0.3%；

TTV測(cè)試范圍≤200微米，絕對(duì)偏差≤±0.5微米，重復(fù)性1δ≤0.25微米；

翹曲度測(cè)試范圍≤0.1mm，彎曲度測(cè)試范圍≤±0.1mm；

b）晶片電阻率檢測(cè)系統(tǒng)（一套）

晶片厚度范圍：0.2mm~0.75mm；

電阻率測(cè)試范圍0.001Ωcm~0.7Ωcm，絕對(duì)偏差≤±3%@0.5mm，重復(fù)性≤1.5%@0.5mm。

4.2　***路線

***路線由供方自行制定。

5　質(zhì)量控制要求

5.1　一般要求

a) 乙方應(yīng)按照雙方商定的技術(shù)協(xié)議內(nèi)容完成測(cè)試系統(tǒng)研制；

b) 若因乙方原因?qū)е聹y(cè)試系統(tǒng)未達(dá)到相應(yīng)指標(biāo)要求，乙方應(yīng)及時(shí)查明原因并采取相應(yīng)解決措施，重新完成相關(guān)指標(biāo)考核內(nèi)容。

5.2　研制階段劃分

合同簽訂之日起為T(mén)0。

★  研制階段劃分為2個(gè)階段：階段性考察、項(xiàng)目驗(yàn)收，具體時(shí)間節(jié)點(diǎn)如下表所示：

項(xiàng)目階段性考察為赴廠考察測(cè)試系統(tǒng)研制進(jìn)展、研制情況。

6　用戶驗(yàn)收規(guī)定

6.1　驗(yàn)收條件

a）產(chǎn)品的技術(shù)狀態(tài)符合合同和技術(shù)協(xié)議要求；

b）配套技術(shù)文件資料齊全；

c）研制過(guò)程中出現(xiàn)的質(zhì)量問(wèn)題均已歸零并有明確結(jié)論。

6.2　驗(yàn)收項(xiàng)目

按照技術(shù)協(xié)議內(nèi)容完成測(cè)試系統(tǒng)研制和性能驗(yàn)證試驗(yàn)，并完成研制總結(jié)報(bào)告。需交付的文件與需完成的試驗(yàn)清單如表1所示。

表1 需交付的文件與需完成的試驗(yàn)清單

驗(yàn)收項(xiàng)目、方法及判據(jù)見(jiàn)表2所示。

表2  驗(yàn)收項(xiàng)目、方法及判據(jù)

6.3　驗(yàn)收方式

在使用方所在地進(jìn)行驗(yàn)收，驗(yàn)收形式由使用方與乙方聯(lián)合開(kāi)展測(cè)試。在完成驗(yàn)收合格后，使用方將組織召開(kāi)驗(yàn)收評(píng)審會(huì)議。

7　應(yīng)交付的文件資料

7.1　文件資料要求

a）文件資料應(yīng)真實(shí)、齊全、詳細(xì)、清晰，并與實(shí)物相符。

b）交付的文件資料應(yīng)簽署完整。

7.2　應(yīng)交付的技術(shù)文件清單

a）《MEMS晶圓/表芯高真空探針測(cè)試系統(tǒng)研制總結(jié)報(bào)告》一份。

8　應(yīng)交付的產(chǎn)品

a）MEMS晶圓/表芯高真空探針測(cè)試系統(tǒng)一套。

9　交貨準(zhǔn)備

9.1　包裝要求

產(chǎn)品應(yīng)用包裝盒包裝，采取適當(dāng)減震措施，避免產(chǎn)品運(yùn)輸過(guò)程損傷。

包裝標(biāo)志應(yīng)清晰并符合GB/T191包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志的規(guī)定。內(nèi)包裝上應(yīng)有防靜電標(biāo)志。

9.2　運(yùn)輸和貯存

產(chǎn)品應(yīng)貯存在清潔、干燥、無(wú)污染的良好環(huán)境中。適時(shí)應(yīng)采取靜電防護(hù)措施。在運(yùn)輸期間，應(yīng)避免雨、雪淋襲和劇烈機(jī)械撞擊。

10　售后服務(wù)

★10.1、質(zhì)保期：產(chǎn)品驗(yàn)收合格之日起1年。

10.2、技術(shù)支持及服務(wù)要求：需在2021年12月20日前完成產(chǎn)品的安裝調(diào)試，并達(dá)到標(biāo)書(shū)和技術(shù)文件要求的性能，確保廠家提供的設(shè)備是全新的、符合國(guó)際質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)、中國(guó)有關(guān)部門(mén)手續(xù)完備、具有生產(chǎn)廠家質(zhì)量保證書(shū)(或合格證明)的設(shè)備。應(yīng)和用戶一起按照響應(yīng)文件要求以及產(chǎn)品設(shè)備配置數(shù)量進(jìn)行驗(yàn)收。如果現(xiàn)場(chǎng)安裝測(cè)試指標(biāo)未通過(guò)，購(gòu)買(mǎi)方有權(quán)要求退貨并要求賠償損失；

10.3、應(yīng)無(wú)償提供用戶現(xiàn)場(chǎng)安裝、調(diào)試及培訓(xùn)。安裝工程師在用戶現(xiàn)場(chǎng)安裝調(diào)試完畢后，進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)講解培訓(xùn)，人員不限。保證用戶掌握基本操作，可以正確操作使用儀器。提供操作手冊(cè)，應(yīng)提供系統(tǒng)所有儀器設(shè)備、軟件、附件、備品備件等詳細(xì)的操作手冊(cè)；

10.4、應(yīng)提供無(wú)償專(zhuān)業(yè)培訓(xùn)名額不限，包括儀器的基本原理、操作、日常維護(hù)；

10.5、質(zhì)保期為驗(yàn)收后12個(gè)月，質(zhì)保期自產(chǎn)品驗(yàn)收合格雙方簽字之日起計(jì)算；終身提供技術(shù)支持和維修服務(wù)。在接到用戶維修申請(qǐng)后2小時(shí)內(nèi)做出響應(yīng)，一般問(wèn)題在到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)后的24h內(nèi)解決，重大問(wèn)題或其它無(wú)法迅速解決的問(wèn)題在一周內(nèi)解決或提出明確解決方案。***負(fù)擔(dān)。

★10.6、保證長(zhǎng)期、優(yōu)惠、及時(shí)提供零備件和優(yōu)質(zhì)、優(yōu)惠的維修服務(wù)，提供軟件終生無(wú)償升級(jí)。供貨商在接到用戶維修申請(qǐng)后 24 小時(shí)內(nèi)派維修工程師到現(xiàn)場(chǎng)維修。質(zhì)保期內(nèi)，如產(chǎn)品出現(xiàn)故障（消耗品和人為損壞除外），質(zhì)保期順延。質(zhì)保期內(nèi)，由于儀器設(shè)計(jì)缺陷或儀器本身的質(zhì)量問(wèn)題，出現(xiàn)故障而連續(xù) 2個(gè)月內(nèi)未將其修好，供貨商保證無(wú)償更換全新的產(chǎn)品(如有新型號(hào)同類(lèi)產(chǎn)品，均無(wú)償更換)；

10.7、在產(chǎn)品使用 3~6 個(gè)月后，需與用戶協(xié)商，由制造商派高級(jí)應(yīng)用人員在用戶處進(jìn)行產(chǎn)品操作、產(chǎn)品維護(hù)、軟件應(yīng)用的深入培訓(xùn)，并解答有關(guān)在產(chǎn)品使用過(guò)程中遇到的問(wèn)題；

 10.8、定期舉辦培訓(xùn)班，由高級(jí)應(yīng)用人員培訓(xùn)講解；

 10.9、質(zhì)保期滿前 1 個(gè)月內(nèi)應(yīng)負(fù)責(zé)一次無(wú)償全面檢查，并寫(xiě)出正式報(bào)告，如發(fā)現(xiàn)潛在問(wèn)題，應(yīng)負(fù)責(zé)排除。

11　保密規(guī)定

本合同項(xiàng)目密級(jí)為公開(kāi)。

乙方應(yīng)當(dāng)對(duì)使用方提供的資料、使用方的信息、商業(yè)秘密及技術(shù)秘密保密。未經(jīng)使用方書(shū)面同意，乙方不得將上述信息透露或轉(zhuǎn)讓給第三方，也不得用于本合同之外的目的。若泄露需方秘密給使用方造成損失的，乙方應(yīng)賠償全部損失（該損失包括但不限于使用方的經(jīng)濟(jì)損失、名譽(yù)損失、使用方向第三方承擔(dān)的違約及賠償金、使用方為了維權(quán)所支付的訴訟費(fèi)、律師費(fèi)、公證費(fèi)、保全費(fèi)及調(diào)查費(fèi)等全部損失）。本保密義務(wù)期限為永久，且不因本合同的無(wú)效、終止或解除而終止。

使用方應(yīng)嚴(yán)格遵守的乙方商業(yè)秘密、技術(shù)秘密及實(shí)驗(yàn)場(chǎng)地的相關(guān)保密要求。未經(jīng)乙方書(shū)面同意，使用方不得將上述信息透露或轉(zhuǎn)讓給第三方，也不得用于本合同之外的目的。若泄露乙方秘密給供方造成損失的，使用方應(yīng)賠償全部損失（該損失包括但不限于供方的經(jīng)濟(jì)損失、名譽(yù)損失、乙方向第三方承擔(dān)的違約及賠償金、乙方為了維權(quán)所支付的訴訟費(fèi)、律師費(fèi)、公證費(fèi)、保全費(fèi)及調(diào)查費(fèi)等全部損失）。本保密義務(wù)期限為永久，且不因本合同的無(wú)效、終止或解除而終止。