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序號

貨物/服務(wù)名稱

詳細參數(shù)要求

1

特殊氣***路管理分配系統(tǒng)

微納實驗室供氣設(shè)備

1、設(shè)備技術(shù)參數(shù):

（1）BCl3氣路分配管理: 由特氣閥箱配給ICP設(shè)備 ，供氣點:1個。具備緊急切斷功能，手動關(guān)斷功能，排風(fēng)功能，緊急切斷系統(tǒng)要連接至現(xiàn)有遠程控制程序。滿足99.999999%純度氣體輸送要求；

（2）H2 氣路分配管理:由特氣閥箱配給設(shè)備CVD和ICP設(shè)備，供氣點:1個。具備獨立調(diào)節(jié)壓力功能，出、入口手動關(guān)斷功能，排風(fēng)功能。增加的供氣點要能夠?qū)崿F(xiàn)泄露緊急切斷，緊急切斷系統(tǒng)要連接至現(xiàn)有遠程控制程序。滿足99.999999%純度氣體輸送要求；

（3）SiH4 氣路分配管理:由特氣閥箱配給CVD設(shè)備，供氣點:4個。具備獨立調(diào)壓功能，手動關(guān)斷功能，排風(fēng)功能，具備緊急切斷功能，緊急切斷系統(tǒng)要連接至現(xiàn)有遠程控制程序。管道要求雙套管輸送管理保證無泄漏，內(nèi)管泄露報警功能。滿足99.999999%純度氣體輸送要求；；

（4）CH4 氣路分配管理:由特氣閥箱配給CVD設(shè)備，供氣點:2個。具備獨立調(diào)節(jié)壓力功能，出、入口手動關(guān)斷功能，排風(fēng)功能。增加的供氣點要能夠?qū)崿F(xiàn)泄露緊急切斷，緊急切斷系統(tǒng)要連接至現(xiàn)有遠程控制程序。滿足99.999999%純度氣體輸送要求；

（5）HBr 氣路分配管理:由特氣閥箱配給設(shè)備CVD設(shè)備，供氣點:1個。具備獨立調(diào)節(jié)壓力功能，出、入口手動關(guān)斷功能，排風(fēng)功能。增加的供氣點要能夠?qū)崿F(xiàn)泄露緊急切斷，緊急切斷系統(tǒng)要連接至現(xiàn)有遠程控制程序。滿足99.999999%純度氣體輸送要求；

（6）NH3 氣路分配管理:由特氣閥箱配給CVD和ICP設(shè)備，供氣點:6個。設(shè)備具備獨立調(diào)壓功能，手動關(guān)斷功能，排風(fēng)功能，具備緊急切斷功能，緊急切斷系統(tǒng)要連接至現(xiàn)有遠程控制程序。滿足99.999999%純度氣體輸送要求；

（7）高純氮氣路分配管理:由純化***路配給 CVD、退火爐，ICP，RIE設(shè)備，供氣面板:7個，面板具備出、入口手動關(guān)斷功能，調(diào)壓功能，出口壓力顯示功能。滿足99.999999%純度氣體輸送要求；。

（8）Ar 氣路分配管理:由氣***路配給設(shè)備PVD、CVD 、退火爐、ICP、RIE、IBE，等離子去膠機設(shè)備，供氣面板:8個。面板具備出、入口手動關(guān)斷功能，調(diào)壓功能，出口壓力顯示功能。滿足99.999999%純度氣體輸送要求；

（9）He 氣路分配管理:由氣***路配給ICP、RIE 、IBE 設(shè)備，供氣面板:7個。面板具備出、入口手動關(guān)斷功能，調(diào)壓功能，出口壓力顯示功能。滿足99.999999%純度氣體輸送要求；

（10）O2 氣路分配管理:由氣***路配給PVD 、 CVD、ALD、退火爐，ICP ，RIE ，IBE ，等離子去膠機設(shè)備，供氣面板: 10個。面板具備出、入口手動關(guān)斷功能，調(diào)壓功能，出口壓力顯示功能。滿足99.999999%純度氣體輸送要求；

（11）CF4 氣路分配管理:由氣***路配給CVD、ICP、RIE設(shè)備， 供氣面板:4個。面板具備出、入口手動關(guān)斷功能，調(diào)壓功能，出口壓力顯示功能。滿足99.999999%純度氣體輸送要求；

（12）SF6 氣路分配管理:由氣***路配給ICP、RIE設(shè)備，供氣面板:2個。面板具備出、入口手動關(guān)斷功能，調(diào)壓功能，出口壓力顯示功能。滿足99.999999%純度氣體輸送要求；

（13）CHF3氣路分配管理:由氣***路配給ICP、RIE設(shè)備，供氣面板:2個。面板具備出、入口手動關(guān)斷功能，調(diào)壓功能，出口壓力顯示功能。滿足99.999999%純度氣體輸送要求；

（14）N2O 氣路分配管理:由氣***路配給CVD設(shè)備，供氣面板:1個。面板具備出、入口手動關(guān)斷功能，調(diào)壓功能，出口壓力顯示功能。滿足99.999999%純度氣體輸送要求 ；

（15）N2 純化器旁通設(shè)備:有氮氣站供氣系統(tǒng)接入純化氮氣系統(tǒng)。要求使用雙閥隔離。出口可以滿足99.999999%純度氣體輸送要求 ；

（16）設(shè)備架:共2臺，采用不銹鋼材質(zhì)，滿足ICP混氣柜和冷水機的需求；

（17）應(yīng)急電池組設(shè)備: 共1臺，采用移動式，容量為6KW.hr。

2

售后服務(wù)

售后服務(wù)

1、供應(yīng)商應(yīng)具備完善的售后服務(wù)體系，供應(yīng)商有固定的維護人員并有能力及時處理所有可能發(fā)生的故障。投標(biāo)單位******、地址、電話、聯(lián)系人等資料。

2、在保質(zhì)期以內(nèi)，投標(biāo)人在接到客戶的維修通知對故障能在2小時內(nèi)響應(yīng)，4小時內(nèi)派出有能力的維修人員趕到客戶現(xiàn)場進行維修處理（若用戶提出新的要求，在招標(biāo)文件***）。

3、在保質(zhì)期滿后，投標(biāo)人應(yīng)保證以合理的價***和保養(yǎng)服務(wù)，當(dāng)發(fā)生故障時，投標(biāo)人應(yīng)按保質(zhì)期內(nèi)同樣的要求進行維修處理，合理收取維修費。

4、質(zhì)保期2年。

序號

產(chǎn)品

數(shù)量/單位

1

特殊氣***路管理分配系統(tǒng)

1套

2

安裝實施服務(wù)

1項