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一、詢價***X***

二、詢價***學(xué)采購與招投標(biāo)管理中心

地址:***省***市***路50號***樓904室

郵編:215021　　　　　　　傳真:***

聯(lián)系人:***　　　　　　電話:***，***

電子郵箱:lrb998@suda.edu.cn

技術(shù)聯(lián)系人:***　　　　電話:***926

三、設(shè)備名稱、數(shù)量及主要技術(shù)指標(biāo)等要求:

　磁控濺射鍍膜沉積系統(tǒng)　　1套

1.真空系統(tǒng):采用高性能泵組結(jié)構(gòu)，半小時內(nèi)達(dá)到小于等于3×10-4Pa；腔體的真空極限優(yōu)于5×10-5Pa；具***路抽氣系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)不停分子泵的情況下對真空腔室進(jìn)行充氣，并打開艙門,更換基片。

2.腔體部分:尺寸根據(jù)實(shí)驗(yàn)室已有預(yù)留位置***，前后兩個門，前門配有玻璃觀察窗與防污擋板；兩門均可單獨(dú)打開，后門采用滑軌式設(shè)計(jì)，與原有手套箱相連。

3.真空度調(diào)節(jié)系統(tǒng):可自動調(diào)節(jié)真空度，以達(dá)到實(shí)驗(yàn)所需的最佳真空狀態(tài)。

4.基片架:轉(zhuǎn)動基片架1個基片位?；叽缱畲鬄?/span>100 mm *100mm。

5.基片加熱系統(tǒng):基片可精確加熱，基片實(shí)際加熱溫度不小于500 ℃。

6.磁控靶:3個2磁控靶。靶槍需要水冷，冷卻水和磁鋼不能直接接觸，靶槍最低工作壓強(qiáng)為2mTorr。帶有獨(dú)立擋板。

7.電源:射頻電源:功率不小于300W，帶有自動匹配的匹配器和控制器。射頻電源輸出功率的精度優(yōu)于滿量程的+/-1%或者度數(shù)的+/-3%。直流電源:功率不小于1000W，有恒壓、恒流和恒功率三種工作模式。

8.

9.氣路控制:3路進(jìn)氣（O2，Ar，N2）有質(zhì)量流量控制器和截止閥。

10.操作系統(tǒng)及控制方式:將電氣部件集成于設(shè)備機(jī)架中采用數(shù)顯觸摸屏操作濺射過程，并采用人機(jī)友好界面中文操控系統(tǒng)；抽真空和停真空可以觸摸屏自動一鍵操作。磁控靶的獨(dú)立擋板采用觸摸屏操作。

11.保護(hù)措施:對冷卻水循環(huán)系統(tǒng)檢測保護(hù)，溫度檢測保護(hù)，真空度檢測保護(hù)，對泵與電源進(jìn)行缺水、欠壓、過壓過流、斷路等異常情況報(bào)警并采取有效保護(hù)措施。

12.質(zhì)保期不少于1年。

四、詢價***格:人民幣300

五、報(bào)價***2021年10月26日14:00。

六、有興趣并符合資格條件的供應(yīng)商，請務(wù)必認(rèn)真閱讀在接受其所有條款要求的基礎(chǔ)上按要求進(jìn)行報(bào)價***an>

七、報(bào)價***順豐快遞郵寄（請充分考慮快遞送達(dá)時間，避免錯過時間）。

附件:標(biāo)書費(fèi)繳納說明.pdf

詢價***X***

成交供應(yīng)商: