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【重慶,北碚區(qū)】西南大學(xué)教學(xué)實(shí)驗(yàn)及實(shí)訓(xùn)基地設(shè)備更新項(xiàng)目-物理學(xué)專(zhuān)業(yè)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)建設(shè)

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標(biāo)簽：招標(biāo)公告重慶西南大學(xué)教學(xué)實(shí)驗(yàn)及實(shí)訓(xùn)基地設(shè)備更新項(xiàng)目-物理學(xué)專(zhuān)業(yè)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)建設(shè)西南大學(xué)招標(biāo)信息招標(biāo)采購(gòu)

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招標(biāo)公告詳情

*** - 競(jìng)價(jià)***M***) 發(fā)布時(shí)間：***截止時(shí)間***：***基本信息：申購(gòu)主題： ***教學(xué)實(shí)驗(yàn)及實(shí)訓(xùn)基地設(shè)備更新項(xiàng)目-物理學(xué)專(zhuān)業(yè)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)建設(shè) 報(bào)價(jià)***產(chǎn)含稅發(fā)票類(lèi)型：增值稅專(zhuān)用發(fā)票付款方式：貨到后按照履約保證金支付方式付款送貨時(shí)間：發(fā)布競(jìng)價(jià)***天內(nèi)送達(dá) 安裝要求：免費(fèi)上門(mén)安裝（含材料費(fèi)）預(yù)算： 560,000.0000 人民幣我要報(bào)價(jià)***： ***市/***區(qū)/***區(qū)/ 供應(yīng)商資質(zhì)：備注說(shuō)明：采購(gòu)明細(xì)：序號(hào) 采購(gòu)內(nèi)容數(shù)量預(yù)算單價(jià)***型號(hào) 規(guī)格參數(shù) 質(zhì)保及售后服務(wù) 附件 1 PVD 薄膜沉積系統(tǒng) 1 (套) 560,000.00 (人民幣) 杭州大華/MiniLab-60S 矩陣科技/RS-B400 Series 1. 1、濺射沉積室沉積室、連***道和法蘭均采用SUS304不銹鋼，材料致密放氣量??；前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，有觀(guān)察窗和擋板，磁控靶安裝在下底盤(pán)，樣品臺(tái)在上頂板，腔室?guī)Х牢蹆?nèi)襯，可拆卸清洗。 2、真空系統(tǒng) 真空系統(tǒng) ★1）極限真空度：優(yōu)于3×10-5Pa (空載經(jīng)烘烤除氣后） 2）恢復(fù)真空：從大氣抽至6×10-4Pa≤40min（充入干燥氮?dú)?、短時(shí)間暴露大氣開(kāi)始抽氣） 3）真空室漏率：關(guān)機(jī)12小時(shí)真空度≤5Pa。（新設(shè)備空載） ★4）系統(tǒng)真空檢漏漏率：小于5.0×10-10Pa·m3/s；內(nèi)外表面電解拋光處理。 3、樣品臺(tái) 1）樣品臺(tái)：抽屜式結(jié)構(gòu)可裝載最大4英寸基片托（方片尺寸100mm×100mm）可以根據(jù)客戶(hù)樣品形狀和大小定制樣品托。 2）樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)：轉(zhuǎn)速0～30rpm連續(xù)可調(diào)；步進(jìn)電機(jī)控制，轉(zhuǎn)動(dòng)平穩(wěn)。 3）工轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)：采用上驅(qū)動(dòng)，中心懸掛方式，磁流體無(wú)油密封傳動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)支承部位配有水冷套裝置，避免加熱器等熱源對(duì)運(yùn)動(dòng)精度的不良影響。加熱器周?chē)懈魺岜Ｗo(hù)罩，使基片受熱均勻。 4）樣品臺(tái)加熱：采用數(shù)字溫控儀，進(jìn)口電阻合金進(jìn)行加熱，加熱爐溫度：室溫～600℃，由熱電偶閉環(huán)反饋控制，可控可調(diào)?？販鼐取?℃，可分段設(shè)定升溫斜率。***區(qū)內(nèi)，溫度均勻性±5℃。 4、磁控濺射靶組件安裝4個(gè)磁控濺射靶組件，其中2個(gè)靶位可濺射磁性材料（如鎳或鐵等）。 5、工***路 1）3路質(zhì)量流量計(jì)控制***路，可外接多種氣體，其中Ar：500sccm、O2：50sccm、N2：100sccm 精度±1%， 2）前端帶電磁截止閥和過(guò)濾器，后端配有混氣室； 6、濺射電源 1）射頻電源：功率500W，頻率13.56MHz，全自動(dòng)匹配；數(shù)量：1套 2）直流濺射電源：最大輸出功率：500W；輸出電壓：0～800V可調(diào) 數(shù)量：2套（其中一臺(tái)直流電源一拖二，切換使用） 7、水路系統(tǒng) SUS304不銹鋼水排，保障循環(huán)供水到每個(gè)水冷部件；每路冷卻水采用水流感應(yīng)開(kāi)關(guān)檢測(cè)供水狀態(tài)，執(zhí)行異常報(bào)警。 8、軟件及其功能（配套控制軟件） ★1、投標(biāo)人提供的成品軟件應(yīng)具有著作版權(quán)，成品軟件應(yīng)具有一鍵式操作功能，并配置多種標(biāo)準(zhǔn)工藝參數(shù)包，可以直接調(diào)取執(zhí)行；2、應(yīng)具有自選參數(shù)功能，可設(shè)定好目標(biāo)真空度、樣品目標(biāo)加熱溫度、濺射電源工作參數(shù)，系統(tǒng)自動(dòng)開(kāi)始抽真空，達(dá)到目標(biāo)真空度后開(kāi)始加熱，達(dá)到目標(biāo)溫度后根據(jù)設(shè)定的功率開(kāi)啟濺射電源，濺射時(shí)間以設(shè)定的工作參數(shù)為準(zhǔn)； ▲3、同時(shí)對(duì)濺射電源的功率和濺射時(shí)間可以設(shè)定多個(gè)數(shù)值，實(shí)現(xiàn)不同輸出功率、不同鍍膜時(shí)間的控制，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)多靶輪流濺射和共濺射； ★4、完備的工藝菜單編輯功能，大容量菜單存儲(chǔ)空間，滿(mǎn)足客戶(hù)菜單存儲(chǔ)需求（大于500個(gè)）； 5、具有操作日志記錄功能，記錄操操作時(shí)的關(guān)鍵信息。 ▲6、機(jī)身配置物聯(lián)網(wǎng)+二維碼服務(wù)系統(tǒng):手機(jī)掃描二維碼進(jìn)入微信操作界面可顯示儀器信息、關(guān)注公眾號(hào)、點(diǎn)擊查看產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū)、在線(xiàn)故障報(bào)修、用戶(hù)注冊(cè)等內(nèi)容，投標(biāo)人須提供二維碼識(shí)別證明材料。 9、工業(yè)冷水機(jī) 采用微電腦PLC控制，可自動(dòng)控制整機(jī)運(yùn)行，全功能防錯(cuò)操作系統(tǒng)，電氣部分均為國(guó)際品牌，保證機(jī)器工作穩(wěn)定，壽命長(zhǎng)久。全鈦管式水箱蒸發(fā)器，防止純水在輸送過(guò)程中產(chǎn)生固體和其它金屬雜質(zhì)。精密數(shù)顯溫度控制器，能精確控制水溫±1℃，按鍵式操作，安裝簡(jiǎn)便，靜電噴塑外殼，歐化設(shè)計(jì)，美觀(guān)大方，外表板采用快速拆裝形式。 10、閥***元 11、備品備件 1套（設(shè)備的詳細(xì)參數(shù)見(jiàn)附件）按行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)提供服務(wù)

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