午夜福利院一区二区精品,www. com久久久

勻膠旋涂儀

發(fā)布時(shí)間： 2024-11-29

發(fā)布時(shí)間	2024-11-29	截止日期	立即查看
聯(lián)系人	立即查看	聯(lián)系電話	立即查看
項(xiàng)目地址	立即查看	招標(biāo)機(jī)構(gòu)/單位/公司	立即查看
填報(bào)單位	立即查看	代理機(jī)構(gòu)聯(lián)系人	立即查看
設(shè)備詞	立即查看	招標(biāo)編號	立即查看

下文中****為隱藏內(nèi)容，僅對中項(xiàng)網(wǎng)會(huì)員用戶開放，?【注冊 / 登錄】?后可查看內(nèi)容詳情

招標(biāo)公告詳情

待競價(jià)****6048） > > 返回申購單主題：勻膠旋涂儀申購單位：電子與信息工程學(xué)院（微電子學(xué)院）報(bào)價(jià)***內(nèi)含稅價(jià)***：人民幣公示時(shí)間：*** 申購備注：商品名稱品牌/廠商型號數(shù)量售后服務(wù) 勻膠旋涂儀 Mycro Technologies Co.,Ltd WS-650Mz-23NPPB 2 規(guī)格 1、系統(tǒng)概述 1.1 智能嵌鎖，系統(tǒng)蓋板具有智能嵌鎖裝置，確保操作安全； 1.2 防腐裝置； 1.3設(shè)有保護(hù)氣體裝置：旋涂過程中對旋轉(zhuǎn)馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù)； 1.4 通信接口，藍(lán)牙連接 2、處理腔體 2.1 處理腔體內(nèi)徑不小于220毫米； 2.2 Wafer芯片尺寸滿足5-150mm直徑的材料，方片125x125mm； 2.3 腔體具有易清潔的NPP天然聚丙烯材質(zhì)； 3、旋轉(zhuǎn)馬達(dá) 3.1 轉(zhuǎn)動(dòng)速度至少滿足0-12,000rpm， 3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec； 3.3 馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差不超過±1%； 4、控制系統(tǒng) 4.1工藝時(shí)間設(shè)定范圍至少滿足1-5999.9sec/step ，精度不超過0.1s； 4.2配有高精度PLC可編程的控制器，設(shè)置點(diǎn)精度小于0.006%； 4.3 可存儲(chǔ)不少于20個(gè)程序段，每個(gè)程序段可設(shè)置不少于51個(gè)不同步驟的速度狀態(tài)； 4.4 轉(zhuǎn)速精度≤1RPM，具有國際NIST標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并且無需再校準(zhǔn)； 5、配套泵浦 5.1 配套真空泵系統(tǒng)：無油型 220~240伏交流，50/60赫茲； 6、系統(tǒng)附件 6.1 原裝進(jìn)口水平測試儀； 6.2 兩袋密封圈； 6.3 配有兩套可更換的***元； 6.4 23N內(nèi)存，用于維護(hù)設(shè)備腔體清潔。采購競價(jià)網(wǎng)

立即登錄還不是會(huì)員？立即免費(fèi)注冊

24小時(shí)咨詢熱線: 400-816-1360

標(biāo)簽：招標(biāo)信息招標(biāo)采購

上一篇：電子天平
下一篇：電熱恒溫鼓風(fēng)干燥箱

招標(biāo)公告詳情

行業(yè)導(dǎo)航

熱門項(xiàng)目信息

招投標(biāo)匯總項(xiàng)目