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*** 七星華創(chuàng)***

*** D07-11C***

*** 1、 數(shù)量：16臺 2、 流量規(guī)格 ( 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM；( 0～1,2,3,5,10,20,30) SLM 2、準確度 ±1 %F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) 3、線性 ±0.5 %F.S (20,30SLM: ±2 % F.S) 4、重復(fù)精度 ± 0.2 %F.S 5、響應(yīng)時間 ≤10 sec 6、氣壓降 ＜ 0.02 MPa 7、耐壓 10 MPa 8、工作環(huán)境溫度 5 ℃～45 ℃ 9、輸出信號 0 V ~ +5.00 V (輸入阻抗大于 100K, 輸出電流不大于 3mA) 10、電源 +15 V 50 mA；-15 V 50 mA 11、重量1kg 12、參考尺寸如下圖所示 注意： 質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。 質(zhì)量流量的單位***: SCCM (標準毫升/分)； SLM (標準升/分)。 標準狀態(tài)規(guī)定為: 溫度 --- 273.15K ( 0℃ )。 氣壓 --- 101325 Pa (760mm Hg)；F.S (Full Scale): 滿量程值。***