*** 蘇州方昇***

*** FS380-S***

*** 有機-金屬真空熱蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)1套 （一）主要技術(shù)參數(shù)要求 1、整體性能 1）采用一體式機架，控制部分與真空室集成在一起，可整體移動，采用優(yōu)質(zhì)進(jìn)口鋁型材搭建；2）機架底部安裝支撐腳及腳輪，可隨意推動；也可撐起地腳固定設(shè)備。 2、樣品臺 1）基片盤可旋轉(zhuǎn)，采用伺服電機驅(qū)動，旋轉(zhuǎn)速度0-60轉(zhuǎn)/分可調(diào)；2）提供一套掩膜板，圖案根據(jù)客戶要求設(shè)計，樣片與掩膜板的配合間隙≤0.2mm；3）樣片旋轉(zhuǎn)要求采用磁流體密封，保證密封可靠性；4）擋板采用磁流體密封，在基片旋轉(zhuǎn)的任意角度均可擋住或打開，通過軟件控制?！?）基片盤有效蒸鍍面積≥120mm*120mm，還可容納12片≥20mm*20mm的基片盤，采用抽屜式安裝方式，附帶一套掩膜板。 3、蒸發(fā)源 1）共8組蒸發(fā)源，可兼容蒸鍍金屬和有機材料；源與源之間配有防止交叉污染的防污板；2）配2套進(jìn)口蒸發(fā)電源，功率1.4KW和0.6KW及以上，最高升溫溫度可達(dá)1500℃，電流驅(qū)動加熱形式，可精確到0.1A，實現(xiàn)蒸鍍速率0.01 A/S的精度顯示。3）有機和金屬蒸發(fā)源均帶有水冷功能。 4、膜厚測量系統(tǒng) 1）采用石英晶振膜厚儀在線測量膜厚，可以實時測量蒸發(fā)的速度和厚度；膜厚精度誤差在正負(fù)0.01A/S；可以顯示2個膜厚探頭的讀數(shù)，可顯示2條共蒸曲線。 2）石英晶振探頭2個，2個帶水冷，位于基片盤兩側(cè)。 5、蒸發(fā)腔體 1）腔體采用SUS304不銹鋼制作，其內(nèi)部尺寸≥380×380×530mm；2）腔體為方形，有前后二個可完全打開的門，一個為推拉門，用于連接手套箱。一個為旋轉(zhuǎn)開啟，用于維護(hù)清理；3）腔體內(nèi)表面采用電解拋光處理，表面精糙度≤0.8；外表面采用拉絲拋光，表面精糙度≤0.8；整體要求美觀，無擦傷及劃痕；4）腔體漏率：整體漏率≥5×10-10Pa.m3/S，保壓12小時，壓強＜10Pa。 6、蒸鍍真空系統(tǒng) 1）極限真空≤4×10-5pa；2）主泵抽速≥700L/S，采用分子泵；3）前級泵抽速≥15 m3/h；4）氣動高真空插板閥，通徑≥150mm；5）帶有旁抽式結(jié)構(gòu)，可不停主泵開啟真空室。相關(guān)的閥門操作具體互鎖保護(hù)功能，防止誤操作；6）腔體充氮氣，從常壓抽至5×10-4pa的時間要求≤***分鐘。★7）提供腔體RGA分析報告。 7、蒸鍍軟件控制系統(tǒng) 1）采用PLC+觸摸屏控制模式；2）真空系統(tǒng)的控制分為手動和自動二種模式。自動模式下，根據(jù)腔內(nèi)壓強自動執(zhí)行相關(guān)泵、閥的啟閉；3）帶有觸摸屏控制，可通過軟件進(jìn)行相關(guān)操作；4）帶有蒸發(fā)電源控制模塊，通過軟件完成蒸發(fā)電源的自動升溫、降溫，也可手動輸入控制數(shù)據(jù)；5）帶有伺服控制模塊，可完成旋轉(zhuǎn)速度，旋轉(zhuǎn)角度，定位角度的控制； 8、驗收、培訓(xùn)及服務(wù) 1）廠商需負(fù)責(zé)鍍膜系統(tǒng)與惰性氣體環(huán)境系統(tǒng)的對接和調(diào)試；2）提供設(shè)備的操作培訓(xùn)；3）提供設(shè)備的常見問題處理培訓(xùn)，日常維護(hù)保養(yǎng)培訓(xùn)；4）提供樣機蒸鍍工藝培訓(xùn)，要求有專業(yè)的蒸鍍工藝人員進(jìn)行現(xiàn)場培訓(xùn)，包括有蒸鍍技巧，共蒸發(fā)注意事項，摻雜蒸發(fā)技巧，常見有機材料選用注意事項等，并提供設(shè)備樣機試用時的有機及金屬材料，同時對各項指標(biāo)進(jìn)行驗收，若不能滿足用戶實驗需求，用戶可退貨；同時中標(biāo)人還需要承擔(dān)因此帶來的一切損失和后果。 9、其他伴隨服務(wù) 1）提供備用配件一套（含腔體密封圈、墊片等耗材）、使用手冊、說明書、維修手冊，標(biāo)準(zhǔn)工藝手冊等各1套。2）質(zhì)保期≥1年，軟件終身免費升級。***