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【廣東,深圳市】感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)

發(fā)布時間：2022-11-18

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標(biāo)簽：預(yù)告廣東感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)中山大學(xué)招標(biāo)信息招標(biāo)采購

發(fā)布時間	2022-11-18	截止日期	立即查看
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招投標(biāo)詳情

***生物醫(yī)學(xué)工程學(xué)院感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)采購項(xiàng)目

基本信息

項(xiàng)目編號***7" >中大招（貨）[2022]1082號
項(xiàng)目名稱	***生物醫(yī)學(xué)工程學(xué)院感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)采購項(xiàng)目
項(xiàng)目類型	貨物采購	申購主題	感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)	采購單位	***
項(xiàng)目預(yù)算	***	采購開始時間	***	采購結(jié)束時間	***	是否送貨	是
期望收貨時間	合同簽訂后120天交貨	經(jīng)辦人	張老師	經(jīng)辦人電話	***
送貨地址	*市區(qū)深區(qū)**樓21棟
電子簽章	本項(xiàng)目需要使用CA簽字CA操作手冊下載
備注	1、本項(xiàng)目國內(nèi)貨物部分：含稅人民幣報(bào)價*按“ 國內(nèi)采購合同（通用貨物類）-適用于設(shè)備改造專項(xiàng)”的“4.付款及結(jié)算方式 4.1.3 分期結(jié)算（適用于貨物總金額采購限額標(biāo)準(zhǔn)以上）”；境外供貨部分：付款方式按《進(jìn)口貨物采購合同》的“1.3付款方式（2）通過網(wǎng)上競價式采購的進(jìn)口貨物”，加征關(guān)稅及進(jìn)口代理費(fèi)用由乙方支付。必須有境外人民幣收款賬戶。 2、進(jìn)口貨物中如有國內(nèi)供貨部分，供應(yīng)商在報(bào)價價部分、國內(nèi)供貨部分的幣種選擇見第1條，并分別簽訂進(jìn)口貨物購銷協(xié)議和國內(nèi)采購合同。 3、本項(xiàng)目學(xué)校不收取任何費(fèi)用。 4、本項(xiàng)目采用數(shù)字證書，請供應(yīng)商根據(jù)指引 http*.edu.cn/article/4902）提前辦理CA證書。 5、“★”標(biāo)注的技術(shù)參數(shù)為廢標(biāo)條款，如響應(yīng)為負(fù)偏離將作為非實(shí)質(zhì)性響應(yīng)處理。

設(shè)備列表

采購設(shè)備

數(shù)量

參考品牌

詳細(xì)響應(yīng)要求

感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)

1臺

詳情請進(jìn)入系統(tǒng)查看

"感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)"技術(shù)要求

序號	技術(shù)要求內(nèi)容	評分等級	是否需要附件說明
1	★1、刻蝕腔體尺寸：不少于Φ350mm*H300mm，鋁質(zhì)桶形臥式結(jié)構(gòu)，上蓋可自動開閉。	重要	是
2	2、Load-lock腔體尺寸：不少于L500mmW400mmH200mm，鋁質(zhì)臥式結(jié)構(gòu)，上蓋自動開閉。	重要	否
3	3、極限真空度：刻蝕室：≤5×10-4Pa;Load-lock室：≤6.7×10-1Pa。	重要	否
4	4、刻蝕室系統(tǒng)漏率：優(yōu)于5×10-7Pa.l/s。	重要	否
5	5、刻蝕室靜態(tài)升壓：系統(tǒng)停泵關(guān)機(jī)后12小時后，真空度≤5Pa。	重要	否
6	6、抽速：系統(tǒng)充干燥N2解除真空，短時暴露大氣后抽氣抽至5×10-3Pa時間小于30min。真空泵抽速不低于8L/s；分子泵抽速不低于600L/s。	重要	否
7	7、射頻陰極尺寸：不小于Φ200mm。	重要	否
8	8、Load-lock室最大運(yùn)送樣品尺寸：不低于Φ6英寸。	重要	否
9	9、主要工藝氣體配置：SF6、CHF3、CF4、C4F8、O2、Ar（視具體刻蝕工藝）。	重要	否
10	10、電源配置:耦合電極（上電極）：13.56MHz，不小于1000W自動匹配;偏壓電極（下電極）：13.56MHz，不小于600W自動匹配。	重要	否
11	11、包含自動壓力控制系統(tǒng)。	重要	否
12	★12、刻蝕距離自動調(diào)節(jié)范圍：40mm-100mm，調(diào)節(jié)精度：≤1mm。	重要	是
13	13、水冷工作臺溫度：<15℃。	重要	否
14	14、控制方式：基于PLC及工控機(jī)的全自動、半自動控制方式。	重要	否
15	15、包含安全報(bào)警系統(tǒng)。	重要	否
16	16、配置清單： (1)、耐氟基氣體腐蝕的真空刻蝕腔體，一體化機(jī)架、輔助設(shè)施，1套； (2)、Load-lock（加載互鎖真空室）系統(tǒng)1套。含Load-lock室，8英寸矩形真空鎖，單片緩沖機(jī)械手，線性導(dǎo)向驅(qū)動機(jī)構(gòu)，樣品頂升機(jī)構(gòu)1套； (3)、分子泵1臺； (4)、直連旋片式真空泵組2臺； (5)、超高真空電動調(diào)節(jié)插板閥1臺； (6)、真空測量系統(tǒng)1套； (7)、自動壓力控制系統(tǒng)1套，含薄膜真空計(jì)； (8)、射頻電源及自動匹配器：不小于1000W，1套；不小于600W，1套； (9)、質(zhì)量流量控制器：不少于6臺； (10)、工***路：不少于6條； (11)、射頻耦合電極及射頻引入器1套； (12)、偏壓電極及射頻引入器1套； (13)、射頻同步器：內(nèi)置； (14)、自動控制系統(tǒng)1套，含PLC模塊、工控機(jī)、顯示器、控制軟件等； (15)、工作臺冷卻水機(jī)1臺。	重要	否

歡迎供應(yīng)商注冊、報(bào)價***請聯(lián)系技術(shù)支持qq:***88

1、注冊審核時間為（工作日8：30 - 17:30），一般為當(dāng)個工作日。
2、繳費(fèi)確認(rèn)時間（工作日8：30 - 17:30）：
a、對公轉(zhuǎn)賬一般到賬時間需要四個小時，繳費(fèi)確認(rèn)需要四個小時以上，節(jié)假日期間請使用微信支付
b、推薦使用微信支付，微信支付實(shí)時到賬系統(tǒng)自動確認(rèn)收款，可馬上報(bào)價***r> 3、資料準(zhǔn)備時間為1-***日，請供應(yīng)商提前準(zhǔn)備。
4、供應(yīng)商第一次報(bào)價***長時間，請?zhí)崆皥?bào)價***div class="modal-footer" style="text-align: center;margin-top: 50px">

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