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*** 天仁微納***

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*** ▲1.1、設(shè)備用于納米壓印工藝，實(shí)現(xiàn)高精度納米結(jié)構(gòu)復(fù)制，包含工作模具復(fù)制和納米壓印功能； 1.2、可實(shí)現(xiàn)100mm、2英寸晶圓的壓印工藝； ▲1.3、手動(dòng)上下料，在設(shè)備內(nèi)可實(shí)現(xiàn)工作模具自動(dòng)復(fù)制，自動(dòng)納米壓印及脫模，壓印結(jié)構(gòu)完整； 1.4、母版材質(zhì)可為硅片，石英，玻璃，金屬或者聚合物，尺寸兼容100mm、2英寸圓形模具，厚度范圍0.1mm-5mm； 2、工藝指標(biāo) ★2.1、壓印結(jié)構(gòu)精度可達(dá)50納米以下； ★2.2、壓印結(jié)構(gòu)深寬比可達(dá)7.5:1（線寬150納米以下光柵結(jié)構(gòu)深度1微米結(jié)構(gòu)須在驗(yàn)收中被驗(yàn)證）以上； ★2.3、壓印結(jié)構(gòu)殘膠層厚度可達(dá)20納米以下； ▲2.4、結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)印精度：壓印結(jié)構(gòu)與原始模具對(duì)比優(yōu)于±5%，不包含材料收縮因素，轉(zhuǎn)印結(jié)構(gòu)精度誤差＜±5%； ***元 3.1、基底托盤采用鋁合金材質(zhì)，表面精密研磨加陽(yáng)極氧化***元吸附面無劃傷，不同尺寸基底邊緣有溢膠槽用于接收溢膠 4、***元 4.1、***元溫度范圍：室溫-70℃，設(shè)置精度±1℃； 4.2、面板熱均勻值≤±3%，面板熱均勻性（在面板***區(qū)域上隨機(jī)選取 15 個(gè)測(cè)溫點(diǎn)，測(cè)算出溫度均勻性，公式如下：±（最大值-最小值）/平均值/2*100%）； ***元 5.1、365nm LED紫外曝光固化系統(tǒng)，曝光面積大于100mm直徑； 5.2、光強(qiáng)范圍：最大光強(qiáng)300mW／cm ，曝光強(qiáng)度可調(diào)，內(nèi)置UV能量計(jì)讀取實(shí)際輻射強(qiáng)度； 5.3、曝光均勻性：100mW~300mW/cm范圍內(nèi)≧80%，計(jì)算公式：（1-（測(cè)量最大值-測(cè)量最小值）/（測(cè)量最大值+測(cè)量最小值））%***