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*** 無***

*** MS4-1C***

*** 均膠方面的要求： 1. 整機尺寸（約）：1500mm（W）*1000mm（D）*1950mm（H） 2. 同時具備均膠、烘膠功能 3. 轉(zhuǎn)速： -5000~5000rpm（空載） 4. 主軸旋轉(zhuǎn)最大加速度： 20000rpm/S（空載） 5. 轉(zhuǎn)速精度： ± 1rpm（50~5000rpm） 6. 轉(zhuǎn)速分辨率： 1rpm 7. 滴膠方式： 自動滴膠 8. 載物盤尺寸： 適合 5mm*5mm*1mm 方片，φ 100mm 標(biāo)準(zhǔn)晶圓 9. 基片固定方式： 真空吸附方式 10. 4 英寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓，勻膠均勻性： 片內(nèi)≤± 3%， 片間≤± 3%（去除邊緣 3mm，膠液 AZ1500，粘度20cp， 膜厚2um 左右） 熱板方面的要求： 1. 面板尺寸：220mm*220mm 2. 溫度：室溫~200℃ 3. 溫度均勻性：室溫～120℃ ± 0.75℃；120.1℃～200℃ ±1.5℃ 4. 控溫方式：PID 調(diào)節(jié) 5. 報警方式：正負(fù)偏離報警 勻膠、熱板控制方面： 1. 控制系統(tǒng)：采用 PLC 控制 2. 勻膠：100 組，每組 100 步，單步最大 3000S，時間分辨率：0.1S 3. 烤膠：100 組，每組 5 步，單步最大 99999.9S，時間分辨率：0.1S***