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【廣東,珠海市】桌面型射頻磁控濺射鍍膜儀

發(fā)布時(shí)間：2022-11-29

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招投標(biāo)詳情

暨南大學(xué) - 競(jìng)價(jià)***B***)

發(fā)布時(shí)間：***截止時(shí)間***：***

基本信息：

申購(gòu)明細(xì)：

序號(hào)

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采購(gòu)內(nèi)容

*** 桌面型射頻磁控濺射鍍膜儀***

數(shù)量

******

預(yù)算單價(jià)***>

***品牌***

*** 成越科儀***

***型號(hào)***

*** CY-MSP190S-1T-RF***

*** 規(guī)格參數(shù)***

*** 1、濺射電源：射頻電源300W；*大輸出電壓600V，極限輸出電流500mA 2、磁控靶：2英寸平衡靶，配磁耦合擋板； 3、磁控靶適用靶材： φ50mm x 3mm厚 4、腔體尺寸：外徑φ194mm ，內(nèi)徑186mm x 高230mm； 5、腔體材質(zhì)： 304不銹鋼 6、旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺(tái)：轉(zhuǎn)速1~20rpm 連續(xù)可調(diào)；加熱溫度*高500℃，升溫速度推薦10℃/min，*高20℃/min。 7、冷卻方式：磁控靶及分子泵需要循環(huán)水冷機(jī)； 8、水冷機(jī)：水箱容積9L，流速10L/min 9、供氣系統(tǒng)：質(zhì)量流量計(jì)，氣體類型Ar氣，流量1~100sccm（可定制）； 10、流量計(jì)精度：±1.5%量程 11、真空腔體抽氣接口為 KF40； 12、進(jìn)氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭； 13、顯示屏為7英寸彩色觸摸屏； 14、可調(diào)節(jié)濺射電流，可設(shè)置濺射**電流值、**真空值； 15、 **保護(hù)：過流、真空過低自動(dòng)切斷濺射電流； 16、極限真空：5E-4Pa(搭配分子泵)； 17、真空測(cè)量為電阻規(guī)真空計(jì)，其量程為：1～105Pa***

***質(zhì)保及售后服務(wù)***

*** 按行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)提供服務(wù)***

***附件***

嚴(yán)正聲明：未經(jīng)本平臺(tái)授權(quán)，嚴(yán)禁以任何形式轉(zhuǎn)載或使用本平臺(tái)數(shù)據(jù)，一經(jīng)發(fā)現(xiàn)，依法追究法律責(zé)任。

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