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*** 1. 氮化硅波導(dǎo)厚度400nm±20nm； 2. 氮化硅結(jié)構(gòu)特征尺寸（CD）200nm±20nm； 3. 芯片加工包含金屬熱電阻工藝； 4. 提供LIGENTEC PDK，包含MZ干涉儀、低損耗延遲線、可調(diào)諧MZ器件、可調(diào)諧環(huán)形諧振器、移相器、ExSpot模斑轉(zhuǎn)換器等6種以上器件庫； 5. 芯片面積≥4.8mm*10 mm; 6. 芯片交付數(shù)量不少于7片。 商務(wù)需求： 1， 關(guān)于交貨： 1.1交貨地點：采購人指定地點； 1.2交貨期：合同簽訂后***日內(nèi)（自然日）交付符合合同條款的貨物。 2， 報價*** 2.1國產(chǎn)含稅 2.1.1投標(biāo)價***幣含稅價***.2投標(biāo)價***用，包含但不限于儀器設(shè)備輔助設(shè)施及配件購置、稅費、包裝、運輸、保險、裝卸、裝卸、調(diào)試、技術(shù)服務(wù)、培訓(xùn)、檢測、服務(wù)、質(zhì)保期（質(zhì)保期內(nèi)設(shè)備及部件故障的更換，維修和退運返修）、售后服務(wù)等，驗收合格交付使用之前的一切費用，采購人不在另行支付其他費用。 3， 關(guān)于付款方式 ① 簽訂合同后10天內(nèi)供應(yīng)商提供能力展示（滿足所有質(zhì)保及服務(wù)承諾要求），經(jīng)采購人確認(rèn)后支付80%貨款； ② 到貨安裝驗收合格后，支付剩余20%的貨款。 4， 質(zhì)保和售后服務(wù) 4.1中標(biāo)人需為本項目配備足夠的售后服務(wù)力量。 4.2中標(biāo)人售后服務(wù)響應(yīng)時間：電話響應(yīng)時間要求1小時內(nèi)，到場響應(yīng)時間要求24個小時內(nèi)（指從接到報障至到達(dá)故障現(xiàn)場的時間）。 4.3中標(biāo)人必須能夠隨時提供全新備品，一旦設(shè)備出現(xiàn)問題必須保證全新備品能在24小時內(nèi)到現(xiàn)場，48小時內(nèi)解決相關(guān)問題。 4.4中標(biāo)人免費提供技術(shù)支持熱線電話。 4.5中標(biāo)人免費提供email技術(shù)支持，并且在24小時內(nèi)回復(fù)。 4.6中標(biāo)人提供儀器設(shè)備的免費保修期至少0.25年（保修期內(nèi)免費維修并更換除消耗品以外的零部件，維修人***路費、食宿等自理）。 4.7中標(biāo)人提供該設(shè)備的技術(shù)使用說明書及外購配件儀器說明書，并指導(dǎo)在使用該設(shè)備時的操作注意 5， 關(guān)于違約 由于中標(biāo)人的原因未能按時供貨的，每遲一天罰款合同總額的0.5%，累計不超過10%。如超過供貨期45天，采購人有權(quán)視情況終止采購合同并通過法律程序?qū)?yīng)商進(jìn)行索賠。***