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*** 1. 氮化硅波導厚度400nm±20nm； 2. 氮化硅結構特征尺寸（CD）200nm±20nm； 3. 芯片加工包含金屬熱電阻工藝； 4. 提供LIGENTEC PDK，包含MZ干涉儀、低損耗延遲線、可調諧MZ器件、可調諧環(huán)形諧振器、移相器、ExSpot模斑轉換器等6種以上器件庫； 5. 芯片面積≥4.8mm*10 mm; 6. 芯片交付數(shù)量不少于7片。 商務需求： 1， 關于交貨： 1.1交貨地點：采購人指定地點； 1.2交貨期：合同簽訂后***日內（自然日）交付符合合同條款的貨物。 2， 報價*** 2.1國產含稅 2.1.1投標價***幣含稅價***.2投標價***用，包含但不限于儀器設備輔助設施及配件購置、稅費、包裝、運輸、保險、裝卸、裝卸、調試、技術服務、培訓、檢測、服務、質保期（質保期內設備及部件故障的更換，維修和退運返修）、售后服務等，驗收合格交付使用之前的一切費用，采購人不在另行支付其他費用。 3， 關于付款方式 ① 簽訂合同后10天內供應商提供能力展示（滿足所有質保及服務承諾要求），經采購人確認后支付80%貨款； ② 到貨安裝驗收合格后，支付剩余20%的貨款。 4， 質保和售后服務 4.1中標人需為本項目配備足夠的售后服務力量。 4.2中標人售后服務響應時間：電話響應時間要求1小時內，到場響應時間要求24個小時內（指從接到報障至到達故障現(xiàn)場的時間）。 4.3中標人必須能夠隨時提供全新備品，一旦設備出現(xiàn)問題必須保證全新備品能在24小時內到現(xiàn)場，48小時內解決相關問題。 4.4中標人免費提供技術支持熱線電話。 4.5中標人免費提供email技術支持，并且在24小時內回復。 4.6中標人提供儀器設備的免費保修期至少0.25年（保修期內免費維修并更換除消耗品以外的零部件，維修人***路費、食宿等自理）。 4.7中標人提供該設備的技術使用說明書及外購配件儀器說明書，并指導在使用該設備時的操作注意 5， 關于違約 由于中標人的原因未能按時供貨的，每遲一天罰款合同總額的0.5%，累計不超過10%。如超過供貨期45天，采購人有權視情況終止采購合同并通過法律程序對供應商進行索賠。***