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*** IOE***

*** URE-2000/35LD***

*** 曝光面積：4英寸 曝光波長：365nm ★分辨力：1mm 對準(zhǔn)精度：±1mm ★掩模樣片整體工件臺運動范圍：X：15mm;Y:15mm 掩模尺寸： 5英寸,向下兼容 樣片尺寸：4英寸，向下兼容，支持碎片 厚度可適應(yīng)0.1mm--2mm(最大可擴展為15mm) 曝光方式：定時（倒計時方式） 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能 ★雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡或者光學(xué)鏡頭+CCD+顯示器：可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)最大倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍，物鏡三對：4倍、10倍、20倍，目鏡三對：10倍、16倍、20倍 調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù) 數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙 掩模相對于樣片運動行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6 ★最大焦厚：400mm（SU8膠，用戶提供檢測條件） 光源平行性：2.5 曝光能量密度：>40mW/cm 單層曝光一鍵完成 采用球氣浮自動找平 照明不均勻性： 2.5%（ f100mm范圍）； 曝光光源：紫外LED； 2．外形尺寸：約1100mm（長）700mm(寬) 1800mm（高）。***