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【廣東,深圳市】深圳大學(xué)ICP-RIE等離子刻蝕機(jī)意向公開
標(biāo)簽： 招標(biāo)預(yù)告廣東深圳大學(xué)ICP-RIE等離子刻蝕機(jī)意向公開深圳大學(xué)招標(biāo)信息招標(biāo)采購
發(fā)布時間： 2024-09-25
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招標(biāo)預(yù)告詳情

***ICP-RIE等離子刻蝕機(jī)意向公開 采購單位: *** 項目名稱: ICP-RIE等離子刻蝕機(jī) 預(yù)算金額***4,020,000.000 采購品目: 壓片加工設(shè)備 采購需求概況: ICP-RIE等離子刻蝕設(shè)備利用感應(yīng)耦合產(chǎn)生高密度等離子體，實(shí)現(xiàn)硅、介質(zhì)、石英等材料的干法刻蝕，并能在常溫下完成Bosch工藝，實(shí)現(xiàn)深硅刻蝕，具備激光終點(diǎn)監(jiān)測功能。高耦合效率和低離子能量，減少材料損傷，結(jié)合動態(tài)溫度與氣體流量控制，實(shí)現(xiàn)高精度刻蝕。Bosch工藝用于精細(xì)刻蝕三維結(jié)構(gòu)，達(dá)到高深寬比、高選擇性和垂直度。激光終點(diǎn)監(jiān)測功能確?？涛g精度，滿足多層結(jié)構(gòu)加工中對每層刻蝕深度、形狀和位置***。 聯(lián)系人: 陳老師 聯(lián)系電話: ***520 預(yù)計采購時間: 2024-10 備注: 無

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