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【廣東,深圳市】深圳大學(xué)激光直寫(xiě)光刻機(jī)意向公開(kāi)
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***激光直寫(xiě)光刻機(jī)意向公開(kāi) 采購(gòu)單位: *** 項(xiàng)目名稱(chēng): 激光直寫(xiě)光刻機(jī) 預(yù)算金額***4,900,000.000 采購(gòu)品目: 激光儀器 采購(gòu)需求概況: 激光直寫(xiě)光刻機(jī)需具備405nm 和375nm 兩種激光光源，最小曝光結(jié)構(gòu)尺寸需達(dá)到300nm，同時(shí)配備不少于三種曝光分辨率書(shū)寫(xiě)模式如600nm、900nm以及5um用于快速完成不同細(xì)節(jié)要求的結(jié)構(gòu)；為滿(mǎn)足多層結(jié)構(gòu)加工需求，正面套刻需要保證對(duì)位精度，套刻精度不大于250nm；此外灰度曝光能力不低于4096階，實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制灰度曝光精度；可加工的尺寸應(yīng)滿(mǎn)足八寸片且向下兼容；售后需提供3年維保。 聯(lián)系人: 劉老師 聯(lián)系電話(huà): ***059 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間: 2024-10 備注: 無(wú)

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