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等離子體表面處理機(jī)（清采比選20241978號(hào)）延期公告

發(fā)布時(shí)間： 2024-12-09

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變更公告詳情

等離子體表面處理機(jī)（清采比選***號(hào)）延期公告發(fā)布時(shí)間：***閱讀量：30 次 ngIf: publish.type.substring(0, 2) == "YQ" 延期信息延期理由：由于該項(xiàng)目報(bào)價(jià)***不滿足要求，本項(xiàng)目延期至***無 end ngIf: publish.type.substring(0, 2) == "YQ" ngIf: publish.type.substring(0, 2) == "BG" 采購項(xiàng)目名稱等離子體表面處理機(jī) 采購項(xiàng)目編號(hào)**** 公告截止時(shí)間****** 對(duì)外聯(lián)系人本項(xiàng)目不接受咨詢咨***道已聯(lián)系電話本項(xiàng)目不接受咨詢咨***道已簽約時(shí)間要求成交后5個(gè)工作日內(nèi) (如不按時(shí)簽訂合同，采購單位***) 交貨時(shí)間要求簽訂合同后30個(gè)工作日內(nèi) 采購單位 *** 最高限價(jià)***000.00 未公布國內(nèi)合同付款方式合同簽訂后40%，到貨后50%，驗(yàn)收合格后10% ngIf: enquiry.foreignPayWay 國外合同付款方式 100%信用證，90%發(fā)貨后憑裝運(yùn)單兌付，10%驗(yàn)收合格后 end ngIf: enquiry.foreignPayWay 交貨地址 ***市***區(qū)中關(guān)村環(huán)保園58號(hào)院***樓供應(yīng)商特殊資質(zhì)要求符合《政府采購法》第二十二條規(guī)定的供應(yīng)商基本條件 ngRepeat: qual in enquiry.quals 無公告說明 ngRepeat: item in enquiry.items 采購清單1 物資名稱采購數(shù)量計(jì)量單位所屬分類等離子體表面處理機(jī) 1 套 {{item.categoryName}} 無無品牌品牌1 Plasma Etch 型號(hào) PE100 品牌2 型號(hào) 品牌3 型號(hào) 單價(jià)***0,000.00 技術(shù)參數(shù)及配置要求 1 6061鋁合金材質(zhì)無縫焊接的真空腔體，真空室不小于12"W × 14"D × 12"H； 2 射頻發(fā)電機(jī)+匹配變壓器，300 W @ 100～460 KHz； 3 發(fā)生器誤差小于設(shè)定值±2%； 4 質(zhì)量流量控制器：2***路，流速0～100 cc/min； 5 另***路沖***路，1路破真空進(jìn)***路； 6 表面微加工精度達(dá)10 nm； 7 干泵排氣速度＞10 m3/h； 8 配有Pirani壓力計(jì)，實(shí)時(shí)數(shù)字顯示工藝艙的壓力值； 9 極限真空度≤1 Pa； 10 熱電偶真空計(jì)時(shí)間控制可以精確到秒； 11 Windows控制系統(tǒng)，支持自動(dòng)/手動(dòng)控制模式自由切換，實(shí)時(shí)顯示工藝過程，通過圖表和數(shù)字實(shí)時(shí)顯示氣體流量、壓力、等離子清洗時(shí)間，功率等工藝參數(shù)； 12 安全功能：溫度、壓力、門鎖互鎖功能； 13 報(bào)警功能：工藝氣體異常報(bào)警，設(shè)置參數(shù)異常報(bào)警，顯示詳細(xì)報(bào)錯(cuò)信息； 14 設(shè)備可靠性：具有該響應(yīng)型號(hào)不少于3份海內(nèi)外知名高校（QS200）或廠商（***）供貨業(yè)績，提供合同證明。 {{tech.remark}} 質(zhì)保期 60個(gè)月 end ngRepeat: item in enquiry.items ****** ngRepeat: attach in publish.attach

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