項(xiàng)目名稱

MCP 高二次電子發(fā)射材料沉積設(shè)備及工藝研發(fā)

項(xiàng)目負(fù)責(zé)人

夏洋

驗(yàn)收日期

2025年05月15日

項(xiàng)目承擔(dān)單位

浙江中科應(yīng)用技術(shù)研究院

驗(yàn)收結(jié)果

通過(guò)

驗(yàn)收組成員

莫非、邱克強(qiáng)、黃增麒、戈秀龍、、楊惠芳

驗(yàn)收意見

一、提供的驗(yàn)收資料齊全、規(guī)范，符合驗(yàn)收要求。

二、項(xiàng)目完成了MCP 高二次電子發(fā)射材料沉積設(shè)備的研制以及高二次電子發(fā)射材料Ir 薄膜沉積工藝的研發(fā)。項(xiàng)目實(shí)施過(guò)程中，攻克了雙層腔室設(shè)計(jì)、腔體內(nèi)部均勻加熱系統(tǒng)設(shè)計(jì)以及Ir前驅(qū)體進(jìn)源難的難題。最終，項(xiàng)目達(dá)到了合同書的要求：1.原子層沉積設(shè)備真空度高于5×10-3Torr；2. MCP功能層Ir單質(zhì)，孔內(nèi)沉積的薄膜非均勻性≤5%；3.項(xiàng)目期內(nèi)通過(guò)本項(xiàng)目已實(shí)現(xiàn)2554. 研制了帶有微流床進(jìn)源系統(tǒng)的原子層沉積設(shè)備1套；5.申請(qǐng)專利4項(xiàng)，其中發(fā)明專利2項(xiàng)。

三、***檢測(cè)（報(bào)告編號(hào)R***4），技術(shù)指標(biāo)符合合同書的要求，經(jīng)用戶使用，反映良好。

四、項(xiàng)目預(yù)算總經(jīng)費(fèi)浙江昌信會(huì)計(jì)師事務(wù)所（浙昌會(huì)所專審(2025)124號(hào)）專項(xiàng)審計(jì)（決算），實(shí)際經(jīng)費(fèi)支出11***元，其中財(cái)政科技補(bǔ)助經(jīng)費(fèi)支出規(guī)。

驗(yàn)收組認(rèn)為，該項(xiàng)目完成了項(xiàng)目合同書規(guī)定的主要內(nèi)容和任務(wù)，同意通過(guò)驗(yàn)收。

發(fā)布機(jī)構(gòu)

浙江中科應(yīng)用技術(shù)研究院

發(fā)布時(shí)間

2025.05.15